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MEC-XPF-5.2S 5. 维修保养 XPF 机械手册 85 6. 请用压缩空气等吹去粘附在过滤器部件上 的灰尘或更换新的过滤器部件。 VVjge7dV VVjge7dV Downloaded at 2011/05/26 09:05 JST by 3JUZ5089 DL#VVjge7dV
5. 维修保养 MEC-XPF-5.2S
84 XPF 机械手册
5.1.14 真空泵用过滤器的清扫 ( 每 3000 小时 )
要点
为了防尘在真空泵里装有过滤器。
定期地对过滤器进行清扫、更换，使其能稳定地吸取元件。
方法
1. 拆下机器后侧 (Side2) 的元件供应装置。
2. 切断机器的电源。
3. 使真空配管内减压，确认负压计的指针指在零的位置。
4. 如下图所示，从机器后侧 （Side2）拆除盖板。
5. 拧松套环，取下套环和过滤器罩，拆下过滤器部件。
警告
操作前请务必切断主电源。
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MEC-XPF-5.2S 5. 维修保养
XPF 机械手册 85
6. 请用压缩空气等吹去粘附在过滤器部件上的灰尘或更换新的过滤器部件。
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86 XPF 机械手册
5.1.15 清扫检查表
清扫处 清扫周期 地方 工时 （分）/ 地方
5.1.1 废料带排出箱 每 8H 2 2
5.1.1 表面薄膜排出箱 每 8H 2 2
5.1.2 不良元件排出盒、不良元件排放盘 每天/每24H 3 3
5.1.3 MFU-30/MFU-40 每天/每24H 2 5
5.1.4 MTU-A/MTU-A2 每天/每24H 1 15
5.1.5 BTU-A/BTU-A2 每天/每24H 1 10
5.1.6 回收极小元件过滤器 每周/每160H 1 5
5.1.7 玻璃元件、彩色样品、校正尺芯片元件 每周/每160H 1 10
5.1.8 支撑销存储器（选项） 每周/每160H 1 3
5.1.9 频闪灯半透镜 每周/每160H 2 5
5.1.10 机器内部 每周/每160H 1 15
5.1.11 空气调节器 每月/每700H 1 15
5.1.12 控制箱冷却风扇的空气过滤器 每月/每700H 1 10
5.1.13 频闪灯单元 每3个月/每2000H 2 15
5.1.14 真空泵用过滤器 每 3000H 1 15
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