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バキュームレベルキャリブレーション HLF-20313-01 バキュームレベルキャリブレーション SHEET 2/4 2 ヘッド部を手前側にジョグ移動させ ます。 1. XY ボタンをクリックします。 XY 軸の操作画面が表示されます。 2. 移動モードの ジョグ移動 ボタンをクリックし ます。 3. カーソルキーを 押して、ヘッド部 を手前側に ジョグ移動させます。 4. 終了 ボタンをクリックします。 XY 軸画面を閉じます。 3 …
バキュームレベルキャリブレーション
HLF-20313-01
バキュームレベルキャリブレーション
SHEET
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バキュームレベルキャリブレーション
［必要な冶具］
• 冶具ノズル 1
［作業手順］
1 バキュームレベルキャリブレーション（設定）画
面を表示させます。
1. マシン設定 メニューÎ保守 タブÎ
キャリブレーション ボタンの順にクリックし
ます。
2. キャリブレーションメニュー画面の
バキュームレベルキャリブレーション ボタン
をクリックします。
バキュームレベルキャリブレーション画面が表示
されます。
3. バキュームキャリブレーション（設定） ボタ
ンをクリックします。
バキュームキャリブレーション（設定）画面が表示
されます。
冶具ノズル 1
バキュームレベルキャリブレーション
HLF-20313-01
バキュームレベルキャリブレーション
SHEET
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2 ヘッド部を手前側にジョグ移動させます。
1. XY ボタンをクリックします。
XY 軸の操作画面が表示されます。
2. 移動モードのジョグ移動 ボタンをクリックし
ます。
3. カーソルキーを押して、ヘッド部を手前側に
ジョグ移動させます。
4. 終了 ボタンをクリックします。
XY 軸画面を閉じます。
3 冶具ノズル 1 をノズルカートリッジ No.1 に取り
付けます。
1. バキュームレベルキャリブレーション（設定）
画面の H ボタンをクリックします。
H 軸の操作画面が表示されます。
バキュームレベルキャリブレーション
HLF-20313-01
バキュームレベルキャリブレーション
SHEET
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2. 移動モードの絶対移動 ボタンをクリックしま
す。
3. 絶対移動欄に「-65.0」mm と入力し、操作
パネルの START ボタンを押します。
H 軸が -65.0 mm の位置まで下降します。
4. ノズルブラケットを下向きに引っ張り、冶具ノ
ズル 1 を横から取り付けます。
ノズルブラケットから手を離すと、ノズルブラケット
が上に上がり冶具ノズルが保持されます。
5. 終了 ボタンをクリックして H 軸画面を閉じ
ます。
4 真空状態のときのセンサの表示値を確認し
ます。
1. 真空 ボタンをクリックします。
2. この状態で装置前面上部に取り付けられて
いる圧力センサの表示値を確認します。
ノズルブラケット
冶具ノズル 1
圧力センサ