SI-F209_Manual(J)JPG_rev1.pdf - 第90页
バキュームレベルキャリブレーション HLF-20313-01 バキュームレベルキャリブレーション SHEET 3/4 2. 移動モードの絶対移動 ボタンをクリックしま す。 3. 絶対移動欄に「 -65.0 」 mm と入力し、操作 パネルの ST ART ボタンを押します。 H 軸が -65.0 mm の位置まで下降します。 4. ノズルブラケットを下向きに引っ張り、冶具ノ ズル 1 を横から取り付けます。 ノズルブラケットから手を離…
バキュームレベルキャリブレーション
HLF-20313-01
バキュームレベルキャリブレーション
SHEET
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2 ヘッド部を手前側にジョグ移動させます。
1. XY ボタンをクリックします。
XY 軸の操作画面が表示されます。
2. 移動モードのジョグ移動 ボタンをクリックし
ます。
3. カーソルキーを押して、ヘッド部を手前側に
ジョグ移動させます。
4. 終了 ボタンをクリックします。
XY 軸画面を閉じます。
3 冶具ノズル 1 をノズルカートリッジ No.1 に取り
付けます。
1. バキュームレベルキャリブレーション（設定）
画面の H ボタンをクリックします。
H 軸の操作画面が表示されます。
バキュームレベルキャリブレーション
HLF-20313-01
バキュームレベルキャリブレーション
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2. 移動モードの絶対移動 ボタンをクリックしま
す。
3. 絶対移動欄に「-65.0」mm と入力し、操作
パネルの START ボタンを押します。
H 軸が -65.0 mm の位置まで下降します。
4. ノズルブラケットを下向きに引っ張り、冶具ノ
ズル 1 を横から取り付けます。
ノズルブラケットから手を離すと、ノズルブラケット
が上に上がり冶具ノズルが保持されます。
5. 終了 ボタンをクリックして H 軸画面を閉じ
ます。
4 真空状態のときのセンサの表示値を確認し
ます。
1. 真空 ボタンをクリックします。
2. この状態で装置前面上部に取り付けられて
いる圧力センサの表示値を確認します。
ノズルブラケット
冶具ノズル 1
圧力センサ
バキュームレベルキャリブレーション
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5 確認した圧力センサの表示値を吸着圧力欄に
入力し、計算 ボタンをクリックします。
計算で算出された値が、Ratio 欄と Offset 欄に表示さ
れます。
6 保存 ボタンをクリックします。
設定した吸着圧力が保存され、バキュームキャリブレ
ーション画面（設定）が閉じます。
7 圧力センサの表示値が設定した圧力と同じで
あることを確認します。
1. バキュームレベルキャリブレーション画面の
バキュームレベルキャリブレーション（確認）
ボタンをクリックします。
バキュームレベルキャリブレーション（確認）画面
が表示されます。
2. 真空 ボタンをクリックします。
3. 確認 ボタンをクリックします。
画面に吸着圧力、Ratio、Offset、SYMC Level
の各値が表示されます。
4. 画面に表示されている吸着圧力の値と、圧
力センサの値が同じであることを確認しま
す。
5. 終了 ボタンをクリックします。
バキュームが解除され、バキュームレベルキャリ
ブレーション（確認）画面が閉じます。
8 冶具ノズル 1 を取り外します。
1. ノズルブラケットを下向きに引っ張り、冶具ノ
ズル 1 を横向きにスライドさせて取り外しま
す。
2. HI 画面に戻り、操作パネルの ORG ボタ
ンを押します。
装置が原点復帰します。
ノズルブラケット
冶具ノズル 1