YSP20_Users_K.pdf - 第154页
5-26 5 6. 클리 너 데이터 의 설정 [ 인 쇄 ] - 「클리 너 」탭 화면에 서 다 음 설 정 항목 의 확인과 편집 을 합니 다 . [인쇄] ー 「클리너」탭 화면 [레인전환] 버튼 68 526 - N3 - 0 0 ● 기판 수량 관 리 마스크 클리 닝 을 생산 한 기판장수 로 관리 할 경 우에 설정 합니 다 . C . 건 식 자동간 격 ( 장 ） 건식 자 동클리 닝 을 할 때 의 간 격…
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● 그래픽 위치맞춤 좌표
그래픽 위치맞춤을 할 좌표를 입력합니다 . 그래픽 위치맞춤 좌표를 설정한 후 [ 그래픽 위치맞춤 ] 버튼을 누르면「그래픽
위치맞춤」화면이 열리고 기판과 마스크의 겹침화상을 보면서 위치맞춤 조정을 할 수 있습니다 . 그래픽 위치맞춤의 자세
한 내용에 대해서는 본 장「8. 그래픽 위치맞춤」을 참조해 주십시오 .
「그래픽 위치맞춤 좌표」탭
[그래픽 위치맞춤] 버튼
68525-N3-00
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6. 클리너 데이터의 설정
[ 인쇄 ]-「클리너」탭 화면에서 다음 설정항목의 확인과 편집을 합니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[레인전환] 버튼
68526 -N3-00
● 기판수량 관리
마스크 클리닝을 생산한 기판장수로 관리할 경우에 설정합니다 .
C. 건식자동간격 ( 장）
건식 자동클리닝을 할 때의 간격 ( 기판장수 ) 을 설정합니다 .
D. 건식자동반복 ( 회）
건식 자동클리닝을 할 때의 왕복 횟수를 설정합니다 .
e. 건식자동 스피드 (mm/sec)
건식 자동 클리닝시에 클리너 유니트가 마스크 아랫면을 이동하는 속도를 설정합니다 .
F. 습 식자 동 간격 ( 장）
습식 자동 클리닝을 할 때의 간격 ( 기판장수 ) 을 설정합니다 .
G. 습식자동반복 ( 회）
습식 자동클리닝을 할 때의 왕복 횟수를 설정합니다 .
h. 습식자동 스피드 (mm/sec)
습식 자동 클리닝시에 클리너 유니트가 마스크 아랫면을 이동하는 속도를 설정합니다 .
i. 수동간격 （장）
수동 클리닝을 할 때의 간격 ( 기판장수）을 설정합니다 . 「건식 자동간격」이나「습식 자동간격」의 장수 지정과 겹칠 경
우는 수동 클리닝이 우선됩니다 .
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● 기판수량 관리의 상세설정
「클리닝 상세설정」화면에서는 , 기판장수 간격별 (「기판수량 관리 1」탭 ~「기판수량 관리 4」탭의 최대 4 종류 ) 로 , 최대
10 회분 (5 왕복 ) 의 클리닝 동작을 실행할 수가 있습니다 . 클리닝 실행간격을「상세 자동간격」에 입력하고 , 각 동작의「클
리닝 타입」,「스피드」,「흡인」을 설정해 주십시오 .
또한 ,「클리닝 타입」을「없음」으로 설정하면 , 그 이후의 클리닝은 실행하지 않습니다 .
그리고 ,「상세 자동간격」을「0」으로 설정하면 , 그 이후의 기판수량 관리 탭의 설정을 전부 무효로 할 수가 있습니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[레인전환] 버튼
[상세설정] 버튼
68527-N3-00
█
설정항목
항목 초기값 입력 범위 내용
상세 자동간격 ( 장 ) 0 0~9999
( 기판수량 관리의 경우에만 )
기판을 몇장마다 클리닝 할 것인지를 설정합니다 .「0」으로
설정하면 , 그 이후의 기판수량 관리 탭의 설정은 무효입니다 .
클리닝 타입 건식
건식
습식
없음
「건식」: 클리너 거즈만으로 클리닝을 실행합니다 .
「습식」: 클리너 거즈에 용제를 적신 상태에서 클리닝합니다 .
「없음」: 이 행 이후의 클리닝은 실행하지 않습니다 .
스피드 (%) 100 1~10 0
클리닝시 클리닝 유닛이 이동하는 속도를 설정합니다 .( 변경
한 값은 하기의「스피드 (mm/sec)」항목과 연동합니다 .)
스피드 (mm/sec) 255 1~255
클리닝시 클리닝 유닛이 이동하는 속도를 설정합니다 .( 변경
한 값은 상기의「스피드 (%)」항목과 연동합니다 .)
흡인 사용
사용
미사용
「사용」: 클리닝시 , 마스크를 흡인하면서 클리닝 유닛이 이동
합니다 .
「미사용」: 클리닝시 , 마스크를 흡인하지 않고 , 클리닝 유닛
이 이동합니다 .
c
주의
습식 클리닝시 ,「흡인」기능을「사용」으로 설정하면 , 토출한 용제가 건조해 버립니다 . 기판 선택시에 [Ea8816 데이터체크 경고 ]
메시지가 표시되므로 , 설정을 변경해 주십시오 .
[ 인쇄 ]-「클리너」탭의「건식 자동간격 ( 장 )」,「습식 자동간격 ( 장 )」,「수동간격 ( 장 )」란에 값을 입력하면 ,「상세설정」
의 클리닝과 병용할 수가 있습니다 . 단 , 각 자동간격 및 수동간격은 대소관계를 유지하도록 설정해 주십시오 .
( 건식 < 습식 < 기판수량 관리 1< 기판수량 관리 2< 기판수량 관리 3< 기판수량 관리 4< 수동간격 )
참고
클리닝 카운터의 값은 , [모니터]-「카운터」탭에서 확인할 수 있습니다.