YSP20_Users_K.pdf - 第169页

5-41 5 4 「그래픽 위치 맞춤」을 실행합니다 . 1 . 티 칭화면 을 닫 은 후에 , [ 셋 업 ] 버 튼을 눌러 서 「셋 업」탭 을 선 택 합니 다 . 2. [ 그래 픽 위 치 맞춤 ] 버 튼을 눌러 서 「그래 픽 위치 맞춤 」대 화 창을 표시 합니 다 . 3. 표시 되 는 겹 침 화 상에서 , 기판 과 마스크의 위 치 맞춤 상 태 를 확인 해 주십 시 오 . 「그래픽 위치맞춤 확인」…

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그래픽 위치맞춤 좌표를 티칭합니다 .
1. [ ] 튼을 눌러서그래맞춤 티칭표시합니다 .
2. 1 점째커서춰서 [ 트레 ] 튼을 누릅니 .
3. [ ] 사용해서 , 목적의 ( ) 중심에 맞춥 .
4. [ 티칭 ] 눌러서 합니다 .
으로 2 점째 은식으로 칭해 주십 .
「그래픽 위치맞춤 티칭」대화창
화살표 키
NG OK
위치맞춤에
설정할 패드
위치맞춤 좌표
68540-N3-00
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「그래픽 위치맞춤」을 실행합니다 .
1. 칭화면후에 , [ ] 튼을 눌러「셋업」탭합니 .
2. [ 그래맞춤 ] 튼을 눌러「그래위치맞춤」대창을 표시합니 .
3. 표시상에서 , 기판마스크의 맞춤 확인주십 .
「그래픽 위치맞춤 확인」대화창
기판 카메라 화상
마스크 카메라 화상
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68541-N3-00
1. 위치맞춤 좌표
맞춤을 좌표선택 . 좌표[ 인쇄 ]-「스퀴지」탭 화면에설정둡니 .
(「5.1 데이상세설정」참 )
2. 비젼
판과 마스크의 상이 쳐서 표시됩 .
[+] 버튼으로 16 배까화상을 , [-] 버튼으로 1/16 까축소있습 . [ ] 버튼상을 하좌
동할 수 있습니 .
3.
슬라이드또는 [ ] 버튼으로 기판 화상과 마스크 상의 투과율을 조정습니 .
4. [ 티칭 ] 버튼
「티칭」 화면이 열립니다 .
5. [ 그래픽 위치맞춤 ] 버튼
「그래위치맞춤」 립니 . 위치 긋남이 우는 에서 조정있습 .
(Step5 참조 )
6. [ ] 버튼
맞춤 리스트내에동할 행으로 습니 .
7. [ 트 스 ]
[ 트레이스 ] 버튼르면 선택위치맞춤 좌표로 트레합니 . [ 이전트레이스 ] 르면 선택
좌표의 행의 표로 트레합니다. [ 음을 트레 ]르면 선택표의 행의 좌표로 트레합니다.
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[ 그래픽 치맞춤 ] 버튼릅니다 .
맞춤 틀어져 우는 , [ 그래맞춤 ] 튼을 르고「그래맞춤
화면에조정합니 . ( 우는 습니 .)
1. [ 화살 ] 으로 화상을 XY 방향으로 동하면서 틀어도록 미세 조정주십
. 따라 [ ] 「옵셋 X「옵 Y」표시합니 .
2. 맞추[ 셋설 ] 누릅니 .
「다확정」박스에「1」이 표시 .
3. 다른 좌표의 맞춤을 우는 좌표반복합니 .
조정수만「다」박스의 수치늘어납니 .
「그래픽 위치맞춤」화면
68542-N3-00
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필요한 좌표에서의 위치맞춤 조정이 완료되면 [ 셋티칭 ] 버튼니다 .
조정모든 옵으로 전체옵셋량이 계산되하단의 맞춤 X맞춤
옵셋 Y맞춤 R」에 표시됩 .
옵셋량을 음부터 다시 [ 클리 ] 튼을 르십 .
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[OK] 버튼위치맞춤 옵셋량갱신합니다 .
에서 조정량이 맞춤 옵셋 XYR「후진 맞춤 XYR」에
. 위치맞춤 갱신않을 우는 [ ] 튼을 르십 .
n
요점
판 또는 마스크의 늘에 의해 기판중심 이의 포에 인를 맞고 싶을 경우는 , 중심치 및 R 틀어을 조
고 옵셋량을 변한 후에 그픽 위맞춤을 실해 주십 .
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「그래픽 위치맞춤」대화닫습니다 .
화면의 지에 따라 반출해 주십시 .