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A-3 A 1 .3 기기 간입출력커 넥터 하류 측 장 비 및 상 류측 장 비 와 의 기 판 요 구 나 운 전 상 태 등 의 신 호교 환 은 장 비 본 체 배 면 하부 패 널 내 의 N EXT INT ERF A CE 와 P REVIO US I NTERF AC E 커 넥 터 로 실 행 합 니 다 . NEXT INTE RF AC E 커 넥 터 는 하 류측 장 비 와 접 속 하 고 , P RE…
A-2
A
1.2 전원접속부
본체정면 우측하단 패널을 열면 전원 접속부가 있습니다. 아래의 그림과 같은 전원케이블을 사용해서 , 메인
브레이커의 일차측 단자 L1, L2, L3, PE 에 접속합니다.
■ 전원사양
전원 삼상교류200/208/220/240/380/400/416V± 10%
주파수 50/60Hz
전원용량 7.0 k VA
전원 입력 단자
전원 입력 단자 (L1, L2, L3, PE)
메인 브레이커
57A01-N3 - 0 0
전원 케이블 가공예
L1
U
L2
V
L3
W
접지
（녹색）
L=100mm
L=100mm
원형 압착단자
절연 피복부 압착 Y단자
57A02 -N 3- 00
c
주의
전원케이블에는 ,AWG10( 도체단면적이5.5 ㎟ ) 이상의것을사용해주십시오 .
전원케이블단자의접속이틀리면 ,클리너부의흡인동작이반대로 ( 에어가뿜어나옴 ) 작동됩니다 .반드시올바르게접속해주
십시오 .
w
경고
감전사고를방지하기위해 ,전원접속은외부의원전원이꺼져있음을확인하고실시해주십시오 .또한 ,본체접지부의접속
은확실하게실행해주십시오 .
A-3
A
1.3 기기간입출력커넥터
하류측 장비 및 상류측 장비와의 기판요구나 운전상태 등의 신호교환은 장비본체 배면 하부 패널내의 NEXT
INTERFACE 와 PREVIOUS INTERFACE 커넥터로 실행합니다.
NEXT INTERFACE 커넥터는 하류측 장비와 접속하고 , PREVIOUS INTERFACE 커넥터는 로더 등의 상류측
장비와 접속합니다.
표준인 「우→좌」 흐름에서는 배면 좌측 하부 패널내에 PREVIOUS INTERFACE 가, 배면 우측 하부
패널내에 NEXT INTERFACE 가 배치되어 있습니다.
두 커넥터 모두 AMP 206043-1(14-pin•receptacle) 을 사용하고 있습니다.
PREVIOUS INTERFACE NEXT INTERFACE
기기간 입출력 커넥터
우→좌 흐름 장비의 예
Connector : AMP 206043-1 (14-pin receptacle)
Connector : AMP 206043-1 (14-pin receptacle)
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Lane 1 Lane 2 Lane 1 Lane 2
■ 좌→우 흐름 장비의 경우
PREVIOUS INTERFACE NEXT INTERFACE
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Lane 2 Lane 1 Lane 2 Lane 1
57A03-N3-00
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1.3.1 PREVIOUSINTERFACE
█
Lane 1
하기의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반입을 시작합니다.
1.본체가기판반입가능한상태 (BUSYOUT:ON）
2.상류측장비에서기판반입신호를입력한상태 (BAIN[N0110321]:ON）
3.상류측장비에서자동운전신호를입력한상태 (URIN[N0110322]:ON）
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상류측 장비의 자동 운전중 신호（UR IN）가 OFF 한 경우, 기판반입을 일시 정지합니다.
ㆍ 반입중인 기판이 본체의 입구센서를 통과했다고 판단되었을 경우, BUSY OUT 을 OFF 합니다.
ㆍ BUSY OUT 과 BA IN 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반입을 종료합니다 .
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PREVIOUS INTERFACE 회로
Lane 1
본체 PREVIOUS INTERFACE상류기
PREVIOUS INTERFACE 커넥터
BUSY OUT
(T01100E4)
BUSY IN
+24V
+24V
LR OUT
(T01100E7)
LR IN
UR IN
(N0110322)
UR OUT
BA IN
(N0110321)
BA OUT
I/O BOARD
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57A0 4 -N3 -0 0
■
기판반송 신호사양 (
PREVIOUS INTERFACE)
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 BUSY OUT T0110 0E4 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력 기판 반입중 신호출력
2 BUSY OUT T0110 0E4 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
3 +24V 입력공 통 (+24V) 기판 반출요구 신호입력
4 BA IN N0110321 전압입력
5 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지）
6~8 비었음
9 +24V 입력공 통 (+24V) 자동 운전중 신호입력
10 UR IN N 0110322 전압입력
11 LR OUT T0110 0E7 릴레이 접점 （무전압） 출력 자동 운전중 신호출력
12 LR OUT T0110 0 E 7 릴레이 접점 （무전압） 출력
13~14 비었음