YSP20_Users_K.pdf - 第216页
7-12 7 2 .1 패 턴등 록 패 턴 매 칭 에 사 용 하는 패 턴 을 등 록 하는 방 법 을 설 명 합 니 다 . 1 패턴매 칭 에 사 용 하 는 패턴을 결정 합니다 . 앞 페 이 지 의 패 턴 조 건 을 참 조 하 여 주십시 오 . 2 마크 정보 화 면에 패턴명칭을 입력 합 니다 . 마크 화 면 의 데 이 터 를 등록 할 행의 「명 칭 」 란 에 패턴 이 라 고 구분 할 수 있 도 록…
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2. 패턴매칭
패턴매칭이란 , 기판이나 마스크상의 특정 패턴의 화상을 템플릿으로서 등록하고 그 형상과 실제로 인식된 패턴
을 비교한 결과에서 기판이나 마스크의 고정기구에서 발생하는 오차나 틀어짐을 보정하는 기능입니다 . 기판이나
마스크상에 피듀셜 마크가 없거나 있는 경우라도 YAMAHA 가 권장하는 마크에 해당되지 않아서 피듀셜 기능을
사용할 수 없는 경우에 유효합니다 .
패턴등록을 하는 형상에 제한은 없으나 다음 조건에 맞는 패턴을 선택하십시오 . 또한 패턴화상은 모니터 화면의
1/4 정도로 해 주십시오 .
•
명암 대비가 명확할 것 .
（패턴의 윤곽이 뚜렷하면 된다 .）
•
2 점 ( 동일점은 불가）이 대각선상에 설치되어 있어야 한다 .
NG
OKOK
OK OK
명암 대비가 낮다
기판 또는 마스크 기판 또는 마스크
패턴
패턴
패턴조건
67701-N3 - 00
n
요점
패턴매칭의 인식은 , 일반적인 마크인식에 비하여 시간이 걸립니다 . 또한 , 원과 사각 등의 마크인식에 비하여 정밀도가 약간
떨어집니다 . 인식정보의「인식타입」을「일반」으로 설정해서 인식할 수 있는 마크에 대해서는 사용할 필요가 없습니다.
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2.1 패턴등록
패턴매칭에 사용하는 패턴을 등록하는 방법을 설명합니다.
1
패턴매칭에 사용하는 패턴을 결정합니다 .
앞 페이지의 패턴조건을 참조하여 주십시오 .
2
마크정보 화면에 패턴명칭을 입력합니다 .
마크 화면의 데이터를 등록할 행의 「명칭」란에 패턴이라고 구분할 수 있도록 명칭을 입력하여 주십시오 .
패턴명칭의 입력
패턴의 명칭을 입력한다
[레인전환] 버튼
68708-N3-00
3
「마크타입」을 설정합니다 .
「기본」탭 화면의「마크타입」에서 기판 피듀셜 마크를 작성할 때는 「기판 피듀셜」로 , 마스크 피듀셜
마크를 작성할 때는「마스크 피듀셜」로 설정합니다 .
「마크타입」의 설정
마크타입을 설정한다
68709-N3-00
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4
「인식타입」을 설정합니다 .
「인식」탭을 열어서「인식타입」을「패턴윤곽」또는「패턴다치」로 설정합니다 .
패턴윤곽
：
패턴매칭을 실행할 경우는 , 일반적으로 이 설정으로 합니다 .
패턴의 내부명암에 얼룩이 있는 경우도 , 이 패턴의 윤곽이 확실하면 인식가능합니다 .
패턴다치
：
패턴의 내부명암이 균등할 경우에 설정합니다 .
패턴전체를 인식하기 때문에「패턴윤곽」보다도 인식시간이 걸리고 , 데이터 사이즈도 커집니다 .
패턴 전체
：
패턴을 상세적으로 취입할 경우에 유효합니다 . 패턴전체를 인식하며 , 데이터의 압축율이 낮으므로
「패턴다치」보다도 인식시간이 걸리고 , 데이터 사이즈도 커지게 됩니다 .
「인식타입」의 설정
「패턴윤곽」「패턴다치」또는「패턴전체」로 설정한다
68710-N3-00
패턴의 인식타입
패턴 윤곽
내부에 얼룩이 있지만
윤곽이 확실하게 보임
패턴 다치
내부가 균일
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5
[ 마크조정 ] 버튼을 눌러서 마크조정 화면을 표시합니다 .
마크의 보조조정 (마크조정)화면
「마스크 피듀셜」을 선택했을 경우, 표시된다
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