YSP20_Users_K.pdf - 第163页
5-35 5 E, F : 마크 검출범위 X, 마크 검 출범 위 Y 마크외 형 + 3.0 0m m 를 기 준 으로 합 니 다 . 예 를 들면 , 아 래 그 림 과 같이 마크의 외형 이 1 mm 일 경 우 4mm 를 입력 합니다 . 다만 , 마크 이 외 의 패턴 ( 레 지 스트 ᆞ 실 크 등 ) 도 검출 되면 , 마크 검 출범 위 위치 를 작게 해서 , 마크 만 검출 되 도록 설정 하 여 주 십…

5-34
5
7.4 인식 파라미터
「인식」탭을 선택하면 아래의 인식 파라미터를 설정할 수 있습니다.
인식 파라미터
[레인전환] 버튼
68534-N3- 00
A: 표면타입
마크표면과 기판 ( 마크주위 ) 과의 명암관계를 설정합니다 . 아래 표를 참고하여 주십시오 .
비 반사체
기판보다 마크가 어두움
반사체
기판보다 마크가 밝음
설 정
밝음 비교
인식상태
기판
마크
기판
마크
표면 타입
67521-N3-00
B: 인식타입
인식타입에는 다음의 5 종류가 있습니다 .
ᆞ 일 반
패턴이외의 모든 형상타입에 대하여 이 인식타입을 사용합니다 .
단 , 이방법으로 인식할 수 없을 경우는 다른 인식방법을 시도하여 주십시오 .
ᆞ 특 수 1
「일반적」 으로는 인식할 수 없는 마크에 대하여 사용하여 주십시오 .
ᆞ 특 수 2
「일반」으로는 인식할 수 없는 마크로 , 잘린부분이 있는 마크에 대하여 사용하여 주십시오 .
ᆞ 패턴 윤곽 , 패턴 다치 , 패턴 전체
패턴으로 등록할 마크에만 사용합니다 .
상세한 내용은 제 7 장「2. 패턴매칭」을 참조하여 주십시오 .
C: 마크 경계값
마크를 인식할때의 2 치화 화면의 기준치입니다 . 후술의 보조조정으로 최적화합니다 .
D: 마크인식공차 (%)
설정된 마크 면적값과 실제로 인식되었을때의 면적치의 오차를 , 어느 정도까지 허용하는지를 % 로 설정합니다 .
권장치는 「30」입니다 .

5-35
5
E, F: 마크 검출범위 X, 마크 검출범위 Y
마크외형 +3.00mm 를 기준으로 합니다. 예를 들면, 아래 그림과 같이 마크의 외형이 1mm 일 경우 4mm 를 입력합니다.
다만 , 마크이외의 패턴 ( 레지스트ᆞ실크 등 ) 도 검출되면 , 마크 검출범위 위치를 작게해서 , 마크만 검출되도록 설정하여
주십시오 .
마크 검출범위 예
마크 검출범위
마크
패턴
1mm
4mm
4mm
4mm
2.5mm
67522-N3-00
c
주의
마크 검출범위 Y 에 "0" 이 입력된 경우 마크 검출범위 X 의 정방형 내에서 마크인식이 실행됩니다 .
G~K: 조명레벨
마크를 인식할 때의 조명은 몇 개의 영역으로 나뉘어져 있습니다 .
각각의 영역의 조명레벨이 여기에 설정되어 있습니다 . 후술의 보조조정으로 최적화합니다 .
L, M: 마크 외 , 마크 내 노이즈 컷트 수
마크화상을 2 치화해서 인식했을 때 , 마크의 외측 또는 내측에 노이즈로서 나타나는 부분을 컷트하기 위한 값입니다 .
후술의 보조조정으로 최적치를 구해서 입력합니다 .

5-36
5
7.5 보조조정을 실행한다
등록한 마크의 설정치가 적절한지 확인하는 작업입니다. 미설정 파라미터에 대해서는 인식테스트를 하면서
최적치를 구합니다 .
1
마크데이터를 선택합니다 .
마크화면의 상부 리스트중 확인하고자 하는 데이터 행에 커서를 맞춥니다 .
2
[ 마크조정 ] 버튼을 눌러서 마크조정 화면을 표시합니다 .
「마크조정」화면
「마스크 피듀셜」을 선택했을 경우, 표시된다
68535-N3-00
3
기판을 컨베이어상에 반입해서 고정합니다 .
[ 기판반입 ] 버튼을 눌러서 화면의 메시지에 따라 실행해 주십시오 .
마스크 피듀셜의 경우는 마스크를 인쇄부에 클램프합니다 .
4
마크를 트레이스합니다 .
1. [ 트레이스 ] 버튼을 누릅니다 .
「트레이스」대화창이 표시됩니다 .
2. [OK] 버튼을 눌러서 선택되어 있는 마크위치에 대한 트레이스를 실행합니다 .
기판 피듀셜 마크의 경우는 기판이 기판용 카메라의 바로 밑으로 이동하고 , 마스크 피듀셜 마크의
경우는 마스크용 카메라가 마스크 마크의 바로 밑으로 이동합니다 .
「트레이스」대화창
68536 -N3-00
참고
트레이스나 티칭기능에 대한 자세한 내용은 제 7 장「1. 티칭과 트레이스」를 참조해 주십시오 .