YSP20_Users_K.pdf - 第156页
5-28 5 ● 시간 관 리 대 기상태 인 경 우에도 일정 한 시 간간격으로 마 스크 클리 닝을 하 고자 할 때 설정 합니 다 . 예 를 들어 「클리 닝 방 법」을 「자 동 」, 「간격」을 「1 0 （분 ） 」으로 설정 하면 , 마지 막 에 인 쇄 또는 클리 닝 한 시점 에서 1 0 분 후에 자 동적으로 클리 닝 을 실행 합 니 다 . A. 클리 닝 방법 마스크의 클 리 닝 방법을 「자 동 …
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● 기판수량 관리의 상세설정
「클리닝 상세설정」화면에서는 , 기판장수 간격별 (「기판수량 관리 1」탭 ~「기판수량 관리 4」탭의 최대 4 종류 ) 로 , 최대
10 회분 (5 왕복 ) 의 클리닝 동작을 실행할 수가 있습니다 . 클리닝 실행간격을「상세 자동간격」에 입력하고 , 각 동작의「클
리닝 타입」,「스피드」,「흡인」을 설정해 주십시오 .
또한 ,「클리닝 타입」을「없음」으로 설정하면 , 그 이후의 클리닝은 실행하지 않습니다 .
그리고 ,「상세 자동간격」을「0」으로 설정하면 , 그 이후의 기판수량 관리 탭의 설정을 전부 무효로 할 수가 있습니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[레인전환] 버튼
[상세설정] 버튼
68527-N3-00
█
설정항목
항목 초기값 입력 범위 내용
상세 자동간격 ( 장 ) 0 0~9999
( 기판수량 관리의 경우에만 )
기판을 몇장마다 클리닝 할 것인지를 설정합니다 .「0」으로
설정하면 , 그 이후의 기판수량 관리 탭의 설정은 무효입니다 .
클리닝 타입 건식
건식
습식
없음
「건식」: 클리너 거즈만으로 클리닝을 실행합니다 .
「습식」: 클리너 거즈에 용제를 적신 상태에서 클리닝합니다 .
「없음」: 이 행 이후의 클리닝은 실행하지 않습니다 .
스피드 (%) 100 1~10 0
클리닝시 클리닝 유닛이 이동하는 속도를 설정합니다 .( 변경
한 값은 하기의「스피드 (mm/sec)」항목과 연동합니다 .)
스피드 (mm/sec) 255 1~255
클리닝시 클리닝 유닛이 이동하는 속도를 설정합니다 .( 변경
한 값은 상기의「스피드 (%)」항목과 연동합니다 .)
흡인 사용
사용
미사용
「사용」: 클리닝시 , 마스크를 흡인하면서 클리닝 유닛이 이동
합니다 .
「미사용」: 클리닝시 , 마스크를 흡인하지 않고 , 클리닝 유닛
이 이동합니다 .
c
주의
습식 클리닝시 ,「흡인」기능을「사용」으로 설정하면 , 토출한 용제가 건조해 버립니다 . 기판 선택시에 [Ea8816 데이터체크 경고 ]
메시지가 표시되므로 , 설정을 변경해 주십시오 .
[ 인쇄 ]-「클리너」탭의「건식 자동간격 ( 장 )」,「습식 자동간격 ( 장 )」,「수동간격 ( 장 )」란에 값을 입력하면 ,「상세설정」
의 클리닝과 병용할 수가 있습니다 . 단 , 각 자동간격 및 수동간격은 대소관계를 유지하도록 설정해 주십시오 .
( 건식 < 습식 < 기판수량 관리 1< 기판수량 관리 2< 기판수량 관리 3< 기판수량 관리 4< 수동간격 )
참고
클리닝 카운터의 값은 , [모니터]-「카운터」탭에서 확인할 수 있습니다.
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● 시간 관리
대기상태인 경우에도 일정한 시간간격으로 마스크 클리닝을 하고자 할 때 설정합니다 .
예를 들어「클리닝 방법」을「자동」,「간격」을「10（분）」으로 설정하면 , 마지막에 인쇄 또는 클리닝 한 시점에서 10 분
후에 자동적으로 클리닝을 실행합니다 .
A. 클리닝 방법
마스크의 클리닝 방법을「자동」「수동」「미실행」중에서 선택합니다 .「자동」을 선택하면 설정한 조건에 따라 자동적으
로 클리닝이 실행됩니다 .
B. 자동 클리닝 타입
「습식」또는「건식」에서 선택합니다 .
C. 간격 ( 분）
자동 클리닝을 할 때의 시간간격 ( 분 ) 을 설정합니다 .
D. 반복 ( 회）
자동 클리닝을 할 때의 왕복 횟수를 설정합니다 .
e. 스피드 (mm/sec）
자동 클리닝시에 클리너 유니트가 마스크 아랫면을 이동하는 속도를 설정합니다 .
참고
장비가 리세트 상태 또는 [STOP] 버튼에 의한 정지중에도 시간관리가 실행됩니다만, 운전의 재개상태에 따라 클리닝의 타이
밍이 다릅니다 .
● 시간관리의 상세설정
[ 인쇄 ]-「클리너」-[ 시간관리 ] 항목의「클리닝 방법」을「자동」으로 하고 ,「자동클리닝 타입」은「상세」로 , 클리닝을
실행하는 시간 간격을「간격 ( 분 )」에 입력합니다 .
그후 , [ 상세설정 ] 버튼을 눌러서 ,「클리닝 상세설정」화면의「시간관리」탭내의「클리닝 타입」,「스피드」,「흡인」을 설정
해 주십시오 . 또한 ,「시간관리」탭 화면에는「상세 자동간격」항목이 없으므로 , 설정은 1 종류만 등록할 수 있습니다 .
[인쇄] ー「클리너」탭 화면
[레인전환] 버튼
[상세설정] 버튼
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7. 마크 데이터의 작성
기판이나 마스크 피듀셜에서 사용하는 마크데이터의 작성방법을 설명합니다 . 마크데이터는 등록된 마크마다
아래의 그림과 같이 각종 파라미터를 가지고 있습니다 . 직접 설정하지 않는 파라미터는 보조조정 ( 조정）으로
확인하면서 최적치를 구합니다 .
마크 데이터의 파라미터 구성
마크명
코멘트
(마크타입)
표면타입
인식타입
마크경계값
마크인식공차
마크검출범위 XY
외륜조명레벨
내륜조명레벨
동축조명레벨
IR외륜조명레벨
IR내륜조명레벨
마크외 노이즈 컷트 수
마크내 노이즈 컷트 수
마크타입
데이터베이스 번호
형상타입
마크외형
(마크외형 XY)
(마크면적)
(마크주위길이)
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참고
표시되는 파라미터는 선택한「형상타입」등에 의해 달라집니다 .