YSP20_Users_K.pdf - 第168页
5-40 5 3 그래픽 위치 맞춤 좌표를 티칭합니다 . 1 . [ 티 칭 ] 버 튼을 눌러서 「 그래 픽 위 치 맞춤 티칭 」 화 면 을 표시 합니다 . 2. 1 점째 의 좌 표 에 커서 를 맞 춰서 [ 트레 이 스 ] 버 튼을 누릅니 다 . 3. [ 화 살 표 ] 키 를 사용해서 , 목적의 좌 표 ( 패 드 ) 를 중심에 맞춥 니 다 . 4. [ 티칭 ] 버 튼 을 눌러서 티 칭 합니다 .…
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5
8. 그래픽 위치맞춤
기판데이터나 마크데이터 등 필요한 데이터 작성이 완료되면 기판의 랜드패턴과 마스크 개구부가 일치하는지
확인하고 옵셋 ( 위치 틀어짐 양 ) 을 조정합니다 .
n
요점
기판•마스크 모두 위치맞춤용 피듀셜 마크를 사용할 경우에는 , 비젼인식을 바탕으로 위치맞춤이 자동적으로 실행되므로
「그래픽 위치맞춤」은 생략해도 됩니다 . 단 피듀셜 마크위치를 티칭한 경우나 기판의 랜드패턴과 마스크 개구형상이 다를 경
우 등, 비젼인식만으로는 정확하게 위치맞춤이 안 될 경우가 있습니다 . 그럴 경우에 그래픽 위치맞춤 기능을 사용하면 위치맞
춤을 쉽고 정확하게 할 수 있습니다 .
● 그래픽 위치맞춤에 사용할 좌표에 대해서
1. 중심 틀어짐 및 R 틀어짐이 있을 경우는 , 아래 그림과 같이 대각으로 2 점을 지정해 주십시오 .
2. 상기 1. 이외의 특정한 장소에 맞추고 싶을 경우는 , 대각의 2 점을 지정하고 기판 전체의 R 틀어짐을 조정한 후에 1 점만
지정해서 실행합니다 . 여기에서 2 점 지정을 해 버리면 , 조정한 R 성분이 변하므로 주의해 주십시오 .
그래픽 위치맞춤에서 지정하는 좌표에 관해서는 , 미리 위치를 측정해 두거나 , 좌표 데이터 ( 설계 데이터 ) 가 있을 경우에
는 메모해 둡니다 .
그래픽 위치맞춤의 지정좌표
대각의 2점을 지정
2
1
3
옵셋량 갱신후
67525-N3-0 0
1
기판을 컨베이어에 반입합니다 .
1. [ 셋업 ] 버튼을 눌러서「셋업」탭을 선택합니다 .
2. [ 기판반입 ] 버튼을 눌러서 메시지에 따라 기판을 반입합니다 .
2
그래픽 위치맞춤에 사용할 좌표를 임시 입력합니다 .
1. [ 인쇄 ] 버튼을 누르고「스퀴지」탭내의 [ 상세설정 ] 버튼을 누릅니다 .
2. 「그래픽 위치맞춤 좌표」탭을 선택합니다 .
3. 미리 측정해 둔 좌표를「위치맞춤 좌표 X」및「위치맞춤 좌표 Y」에 입력합니다 .
「그래픽 위치맞춤 좌표」임시입력
68539-N3-00
5-40
5
3
그래픽 위치맞춤 좌표를 티칭합니다 .
1. [ 티칭 ] 버튼을 눌러서「그래픽 위치맞춤 티칭」화면을 표시합니다 .
2. 1 점째의 좌표에 커서를 맞춰서 [ 트레이스 ] 버튼을 누릅니다 .
3. [ 화살표 ] 키를 사용해서 , 목적의 좌표 ( 패드 ) 를 중심에 맞춥니다 .
4. [ 티칭 ] 버튼을 눌러서 티칭합니다 .
상기의 방법으로 2 점째 이후도 같은식으로 티칭해 주십시오 .
「그래픽 위치맞춤 티칭」대화창
화살표 키
NG OK
위치맞춤에
설정할 패드
위치맞춤 좌표
68540-N3-00
5-41
5
4
「그래픽 위치맞춤」을 실행합니다 .
1. 티칭화면을 닫은 후에 , [ 셋업 ] 버튼을 눌러서「셋업」탭을 선택합니다 .
2. [ 그래픽 위치맞춤 ] 버튼을 눌러서「그래픽 위치맞춤」대화창을 표시합니다 .
3. 표시되는 겹침화상에서 , 기판과 마스크의 위치맞춤 상태를 확인해 주십시오 .
「그래픽 위치맞춤 확인」대화창
기판 카메라 화상
마스크 카메라 화상
1
4
5
7
6
2 3
68541-N3-00
1. 위치맞춤 좌표
위치맞춤을 할 좌표를 선택합니다 . 이 좌표는 [ 인쇄 ]-「스퀴지」탭 화면에서 미리 설정해 둡니다 .
(「5.1 스퀴지 데이터의 상세설정」참조 )
2. 비젼화면
기판과 마스크의 화상이 겹쳐서 표시됩니다 .
[+] 버튼으로 16 배까지 화상을 확대 , [-] 버튼으로 1/16 까지 축소할 수 있습니다 . [ 이동 ] 버튼을 누르면 화상을 상하좌
우로 이동할 수 있습니다 .
3. 투과율
슬라이드바 또는 [ 화살표 ] 버튼으로 기판 화상과 마스크 화상의 투과율을 조정할 수 있습니다 .
4. [ 티칭 ] 버튼
「티칭」 화면이 열립니다 .
5. [ 그래픽 위치맞춤 ] 버튼
「그래픽 위치맞춤」 화면이 열립니다 . 위치 어긋남이 있을 경우는 이 화면상에서 미세 조정을 할 수 있습니다 .
(Step5 참조 )
6. [ 점프 ] 버튼
위치맞춤 좌표 리스트내에서 이동할 행으로 점프할 수 있습니다 .
7. [ 트 레이스 ] 버튼
[ 트레이스 ] 버튼을 누르면 선택되어 있는 위치맞춤 좌표로 트레이스합니다 . [ 이전을 트레이스 ] 를 누르면 선택되어 있는
좌표의 이전 행의 좌표로 트레이스합니다. [ 다음을 트레이스 ]를 누르면 선택된 좌표의 다음 행의 좌표로 트레이스합니다.