YSP20_Users_K.pdf - 第158页
5-30 5 7.1 작 성순서 버 튼 에 리 어 의 [ 마 크 ] 버 튼 을 누 르 면 , 아 래 그 림 과 같이 마 크 화 면 이 표 시 됩 니 다 . 화 면 상 부 의 데 이 터 No . 행 에 마 크 의 「명 칭 」과 「코 멘 트 」를 입 력 하 고 , 하부 의 리 스트 에 각 종 파 라 미 터 를 설 정합 니다 . 1 [ 마크 ] 버튼 을 눌러서 , 마크 화면을 표 시 합 니다 . S…
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7. 마크 데이터의 작성
기판이나 마스크 피듀셜에서 사용하는 마크데이터의 작성방법을 설명합니다 . 마크데이터는 등록된 마크마다
아래의 그림과 같이 각종 파라미터를 가지고 있습니다 . 직접 설정하지 않는 파라미터는 보조조정 ( 조정）으로
확인하면서 최적치를 구합니다 .
마크 데이터의 파라미터 구성
마크명
코멘트
(마크타입)
표면타입
인식타입
마크경계값
마크인식공차
마크검출범위 XY
외륜조명레벨
내륜조명레벨
동축조명레벨
IR외륜조명레벨
IR내륜조명레벨
마크외 노이즈 컷트 수
마크내 노이즈 컷트 수
마크타입
데이터베이스 번호
형상타입
마크외형
(마크외형 XY)
(마크면적)
(마크주위길이)
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참고
표시되는 파라미터는 선택한「형상타입」등에 의해 달라집니다 .
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7.1 작성순서
버튼에리어의 [마크] 버튼을 누르면 , 아래 그림과 같이 마크화면이 표시됩니다.
화면상부의 데이터 No.행에 마크의「명칭」과「코멘트」를 입력하고 , 하부의 리스트에 각종 파라미터를 설
정합니다 .
1
[ 마크 ] 버튼을 눌러서 , 마크화면을 표시합니다 .
Step 2Step 1 Step 3
Step 5
Step 4Step 7
마크 화면
[레인전환] 버튼
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2
마크의「명칭」을 입력합니다 .
마크별로 구별이 되는 이름을 20 자 내외의 영숫자로 입력합니다 . 스페이스는 사용할 수 없습니다 .
3
「코멘트」를 입력합니다 .
필요에 따라 코멘트를 입력합니다 . ( 입력하지 않아도 상관없습니다 .)
4
각종 파라미터를 설정합니다 .
「기본」「형상」「인식」탭을 선택하면서 화면의 우측 아래에 표시되는 리스트에 파라미터를 설정합니다 .
[D/B] 버튼을 누르고「마크 데이터베이스 일람」화면을 열고 데이터베이스에서 파라미터 값를 복사할 수
도 있습니다 . 이 경우 복사한 데이터베이스 번호가「데이터베이스 번호」란에 표시됩니다 .
（본 장「7.2~7.4」를 참조해 주십시오 .）
5
보조조정을 실행합니다 .
설정한 파라미터의 확인 및 조정작업 (「보조조정」이라고 함 ) 을 실행합니다 . ( 본 장「7.5」를 참조하
여 주십시오 .)
6
상기의 작업을 반복합니다 .
피듀셜에 사용하는 모든 마크에 대하여 상기의 작업을 실행하여 주십시오 .
7
데이터를 저장합니다 .
버튼 에리어의 [ 기판저장 ] 버튼을 눌러서 기판 데이터를 저장하여 주십시오 .
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7.2 기본 파라미터
「기본」탭에서는 「마크타입」을 설정합니다.
기본 파라미터
1 2
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1. 마크타입
기판 피듀셜 마크를 작성할 때에는「기판 피듀셜」, 마스크 피듀셜 마크를 작성할 때에는「마스크 피듀셜」을 드롭다운 리
스트에서 선택합니다 .
2. 데이터베이스 번호
데이터베이스로부터 마크의 파라미터 값을 복사할 수가 있습니다 . [D/B] 버튼을 누르면 , 「마크 데이터베이스 일람」화면
이 표시됩니다 . 복사할 마크 데이터를 선택하고 , [ 세팅 ] 버튼을 누르면 복사됩니다 . 「데이터베이스 번호」란에는 , 복사원
데이터베이스 번호가 표시됩니다 .
데이터베이스 일람
[세팅] 버튼
[세팅] 버튼
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