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 제 1 장 유지 보수에대하여 목차  1 . 장비의성능 을유지 하 기위해서 1 - 1 1 . 1 필수조건및환 경조건 1 - 1 1 . 2 정기 적인점 검 • 청소 의중요성 1 -2  2. 유지보수작업의준비 1 - 3 2. 1 유지보수툴 1 - 3 2. 1 . 1 클리 닝툴 1 - 3 2. 1 .2 급유툴 • 구 리스  1- 3 2.2 …

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iii
점검 청소
급유 교환
섹션 대상 매주 매월 3M 6M 고장 청소 급유 주기 대응
X,Y
X축
크류 -
이드 -
Y축
크류 -
이드 -
마스크카
조명즈더러
조명점등상
- -
기판카메 조명점등상 - -
검사카메 (OP) 조명점등상 - -
어/
필터
필터 - -
1 장 유지보수에대하여
목차
1. 장비의성능을유지기위해서 1-1
1.1 필수조건및환경조건 1-1
1.2 정기적인점
청소의중요성 1-2
2. 유지보수작업의준비 1-3
2.1 유지보수툴 1-3
2.1.1 클리닝툴 1-3
2.1.2 급유툴
리스 1-3
2.2 요공구 1-4
1-1
1
1.장비의성을유지기위
하신장비의성능을유기위 ,보다나은환서사용하는것이제 1 이됩 .
욱이평소의유수및정인점을소홀히하지않는것이중합니 .
1.1 필수조건및환경조건
■ 용에
항목 내용
에어압력 0.45MPa 이상을 확보할 .
에어 호 내경 8mm 이상의 에어호스를 용할 .
용조건 에어 드라이어 및 에어필터를 통과한 청정한 에어를 용할 .
■ 전원
항목 내용
전원
삼상교류
200/208/220/240/380/400/416V ± 10%
주파수 50Hz/60Hz
최대 전원용량 7.0 K VA
평균 소비전력 1.50kW
전원접속 전원 케이블 도단면적 5.5 이상
■ 경조건
항목 내용
노이 EN61000-6-2 규격에 적합 .
습도 기능 보증 :20~90%( 결로현상이 없을 ), 권장 습도 :40~60%
온도 기능 보증 :15~30℃ 이내 , 정밀도 보증 :20~28℃ 이내 , 권장 온도 :23~26℃ 이내
주위 대기 상태 먼지 등이 없을 . 유기용제 증기 , 황산 가스 , 염소 가스 , 연성 가스 등없을 .
설치 바닥 상태
평탄하며 전시 진동이 없도록 충분한 강도있을 .
콘크리트 또는 , 콘크리트 상당의 강도있을 .
특히 , 목제 바닥면 오피스용 바 , 그레이팅은 불가 .
바닥면 내구 강도 약 850kg/ 이상 확보 .
주위 저한 소음이 없을 . 업자가 장치의 조작음 , 고음을 문제없이 청음할 있을 .
주위 조명 비젼 시스템에 , 일광 등의 강한 광선이 직접 닿지 않을 .
n
요점
는 정기 발을 방기 위해 40% 상을 확하여 주십 . 또 , 산업용 가습를 사용할 경우는 , 순수를 사용하여
십시오 .