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6-20 6 3.4 생산 이 력 의 저장처를 지정 한다 생 산 이 력 데 이 터 는 장 비 의 전 원 을 OFF 하 거 나 기 판을 전 환 할 때 마 다 로 컬 드 라이 브 내 의 지 정 한 폴 더 에 파 일 로 저 장 됩 니 다 . 또 한 , 지 정 한 시 각 에 생 산이 력 데 이 터 를 출 력 하 고 자동 적 으로 저 장 할 수 도 있 습 니 다 . 이 들 의 설 정 방 법 을 다음 과…
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하류대기 CT/ MAX 로트중 가장 길었던 하류 대기시간
하류대기 CT/ MIN 로트 중 가장 짧았던 하류 대기시간
하류대기 CT/ AVE 로트의 기판 1 장당의 하류측에 의한 평균 대기시간
마크인식 CT/ 장 MAX 로트 중 가장 길었던 기판 마크 인식시간
마크인식 CT/ 장 MIN 로트 중 가장 짧았던 기판 마크 인식시간
마크인식 CT/ 장 AVE 로트의 기판 1 장당 평균 마크 인식시간
마스크 마크인식 CT/ MAX 로트 중 가장 길었던 마스크 마크 인식시간
마스크 마크인식 CT/ MIN 로트 중 가장 짧았던 마스크 마크 인식시간
마스크 마크인식 CT/ AVE 로트의 기판 1 장당 평균 마스크 마크 인식시간
검사시간 ( 초 ) 로트 중 인쇄검사에 걸린 시간의 합계 ( 인쇄검사 기능을 겸비한 경우 )
검사시간 MAX 로트 중 가장 길었던 기판 검사시간 ( 인쇄검사 기능을 겸비한 경우 )
검사시간 MIN 로트 중 가장 짧았던 기판 검사시간 ( 인쇄검사 기능을 겸비한 경우 )
검사시간 AVE 로트의 기판 1 장당 평균 검사시간 ( 인쇄검사 기능을 겸비한 경우 )
클리닝 시간 ( 초 ) 로트 중 마스크 클리닝에 걸린 시간
마크 인식에러 횟수 로트 중 마크 인식에러가 발생한 횟수 ( 재실행을 포함 )
반송에러 횟수 로트 중 반송에러가 발생한 횟수
그 밖의 에러횟수 로트 중 발생한 그 밖의 에러횟수
에러정지 시간 ( 초 ) 로트 생산중에 에러가 발생하고 클리어될 때까지 장비가 정지한 시간의 합계
에러복구 시간 ( 초 ) 로트 생산중에 에러표시가 클리어되고 장비를 재운전할 때까지 걸린 시간의 합계
상류 대기시간 ( 초 ) 로트 생산중에 상류측에 의해 대기상태가 된 시간의 합계
하류 대기시간 ( 초 ) 로트 생산중에 하류측에 의해 대기상태가 된 시간의 합계
가동율 (%)
( 누적인쇄시간 + 누적반송시간 )/[( 생산종료시각 - 준비종료시각 )- 누적대기
시간 ] × 100(%)
누적인쇄시간 : 스퀴지 헤드가 움직여 인쇄가 진행되는 합계시간 ( 마크인식 등의 시
간도 포함 )
누적반송시간 : 컨베이어가 움직여서 반송하는 합계시간
누적대기시간 : 장비가 운전중 ( 표시등인 녹색램프가 점등 ) 임에도 불구하고
상류 또는 하류기에 의한 대기로 인해 스퀴지 헤드가 작동하지 않는 시간
마스크 마크인식 횟수 로트 생산중에 마스크의 피듀셜마크 인식을 실행한 횟수
클리닝 횟수 로트의 생산중에 마스크 클리닝을 실행한 횟수
검사 횟수 로트의 생산중에 인쇄검사를 실행한 횟수 ( 인쇄검사 기능을 겸비한 경우 )
검사 뷰 수 로트의 생산중에 인쇄검사를 실행한 뷰 ( 시야 ) 수 ( 인쇄검사 기능을 겸비한 경우 )
검사 대상 수 로트의 생산중에 인쇄검사를 한 대상수 ( 인쇄검사 기능을 겸비한 경우 )
인쇄검사 NG 수 로트의 생산중에 인쇄검사가 NG 로 된 수 ( 인쇄검사 기능을 겸비한 경우 )
기판 틀어짐 체크 NG 수 로트의 생산중에 기판틀어짐 체크가 NG 로 된 수
기판반출수량 로트의 생산중에 반출한 기판 수량
기판투입수량 로트의 생산중에 투입한 기판 수량
이중인쇄 피드백 수 로트의 생산중에 이중인쇄 피드백을 실행한 횟수
클리닝 피드백 횟수 로트의 작업중에 클리닝 피드백을 실행한 횟수
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3.4 생산이력의 저장처를 지정한다
생산이력 데이터는 장비의 전원을 OFF 하거나 기판을 전환할 때마다 로컬 드라이브 내의 지정한 폴더에
파일로 저장됩니다. 또한 , 지정한 시각에 생산이력 데이터를 출력하고 자동적으로 저장할 수도 있습니다.
이들의 설정 방법을 다음과 같이 설명합니다.
1
셋업화면「유틸리티」탭의 [Appl. 설정 ] 버튼을 누릅니다 .
「설정」대화창이 표시됩니다 .
2
「이력」탭을 선택합니다 .
「설정」대화창
「이력」탭
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3
[ 이력 ] 버튼을 누릅니다 .
「이력설정」대화창이 표시됩니다 .
4
생산이력을 저장할 폴더의 암호를 확인 또는 지정합니다 .
텍스트 박스에 직접 입력하거나 [ 참조 ] 버튼으로 저장처를 지정하십시오 . 「로그」「생산」「로트」이력데
이터의 저장처를 각각 별도로 설정할 수 있습니다 . 설정이 완료되면 [OK] 버튼을 누릅니다 .
「이력설정」대화창
68618-N3-0 0
c
주의
생산이력을 저장할 파일은「YspLot20091201.csv」와 같이 파일명에 날짜가 부가된 명칭이 됩니다 . 이 경우 기판이 전환될 때
마다 같은 날의 로그데이터가 갱신됩니다 . 날짜별로 파일은 증가되므로 , 장비를 저장처로 지정하면 빈 용량이 줄어서 기판데이
터를 저장할 수 없거나 소프트웨어의 기동에 실패할 수 있습니다 . 장비를 저장처로 지정하지 마십시오 .
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6
5
「설정」대화창의 [ 이력상세 ] 버튼을 누릅니다 .
「이력상세 설정」대화창이 표시됩니다 .
「이력 상세설정」대화창
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6
필요한 항목에 체크합니다 .
•
전원투입시 로트이력 인계
여기에 체크하면 , 전회에 전원을 OFF 할 때 작업하고 있던 기판데이터를 차회에 전원을 ON 했을 때 ,
같은 기판데이터를 읽어 들여서 그 생산이력 데이터를 인계합니다 .
•
다국어 모드로 출력
여기에 체크하면 , 생산이력 데이터를 다국어 모드로 저장
•
읽어낼 수 있습니다 .
•
풀 ASCII 코드대응
여기에 체크하면 , 기판을 읽어들일 때 장비에서 사용 불가능한 문자열 ( 부정한 문자 ) 을 자동적으로
변환합니다 .
부정 문자열 ( 예 ):!#$%&@
✽
<>?/ 등
•
동명기판 로딩시 , 로트이력 인계
[ 기판선택 ] 버튼으로 현재 읽어들인 기판 데이터와 같은 이름의 기판데이터를 선택했을 경우 , 생산수
량 , 로트로그 , 생산로그 정보를 클리어하지 않고 인계합니다 .
•
지정시간 이력출력 설정
생산이력 데이터의 출력 시각을 지정할 경우에 설정합니다 .
「지정시각에 이력출력 실행」에 체크하고「지정시각」란에 시각을 24 시간 표시로 입력합니다 .
이 설정을 해 두면 , 매일 설정한 시각에 생산이력 데이터를 출력해서 , 자동적으로 저장합니다 .
「이력출력후 , 이력 2 의 리세트실행」에 체크하면 , 생산이력 데이터를 출력할 때에「이력 2」의 리세
트를 실행합니다 .
•
이력합계 제한 사이즈
저장할 생산이력 데이터의 합계량에 제한을 설정할 수 있습니다 . 저장처의 빈 용량이 여기에서 설정
한 제한 사이즈에 가까워지면 알람으로 알려줍니다 . 「0」으로 설정하면 제한은 없습니다 .