YSP20_Users_K.pdf - 第278页
A-6 A 1 .3 .2 NE XTIN TERF A CE █ L ane 1 하 기 의 1 ~ 3 의 조 건 이 갖 추어 진 경 우 에 , 기 판 반출 을 시 작 합 니 다 . 1 . 본체 가기 판반 출가능한상태 （BAO UT :ON ） 2. 하류측장 비 에서기 판반입신 호 를입 력 한상태 （BU SYIN[N01 1032 0] :O N ） 3. 하류측장 …
A-5
A
█
Lane 2
하기의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반입을 시작합니다.
1.본체가기판반입가능한상태（BUSYOUT2:ON）
2.상류측장비에서기판반입신호를입력한상태（BAIN2[N01102A3]:ON）
3.하류측장비에서자동운전신호를입력한상태（URIN2[N01102A4]:ON）
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상류측 장비의 자동 운전중 신호（UR IN 2）가 OFF 한 경우 , 기판반입을 일시 정지합니다.
ㆍ 반입중인 기판이 본체의 입구센서를 통과했다고 판단되었을 경우, BUSY OUT 2 를 OFF 합니다.
ㆍ BUSY OUT 2 와 BA IN 2 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반입을 종료합니다 .
7
12
4
8
1
14
11
3
PREVIOUS INTERFACE 회로
Lane 2
본체 PREVIOUS INTERFACE상류기
PREVIOUS INTERFACE 커넥터
BUSY OUT 2
(T110110)
BUSY IN 2
+24V
+24V
LR OUT 2
(T0110113)
LR IN 2
UR IN 2
(N01102A4)
UR OUT 2
BA IN 2
(N01102A3)
BA OUT 2
I/O BOARD
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
57A05-N3-00
■
기판반송 신호사양 (
PREVIOUS INTERFACE)
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 BUSY OUT 2 T0110110 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력 기판 반입중 신호출력
2 BUSY OUT 2 T0110110 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
3 +24V 입력공 통 (+24V) 기판 반출요구 신호입력
4 BA IN 2 N01102 A 3 전압입력
5 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지）
6~8 비었음
9 +24V 입력공 통 (+24V) 자동 운전중 신호입력
10 UR IN 2 N 01102A4 전압입력
11 LR OUT 2 T0110113 릴레이 접점 （무전압） 출력 자동 운전중 신호출력
12 LR OUT 2 T 0110113 릴레이 접점 （무전압） 출력
13~14 비었음
A-6
A
1.3.2 NEXTINTERFACE
█
Lane 1
하기의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반출을 시작합니다.
1.본체가기판반출가능한상태（BAOUT:ON）
2.하류측장비에서기판반입신호를입력한상태（BUSYIN[N0110320]:ON）
3.하류측장비에서자동운전신호를입력한상태（LRIN[N0110323]:ON）
n
요점
ㆍ 기판 반출중에 하류측 장비의 자동 운전중 신호（LR IN）가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다.
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단되었을 경우, BA OUT 을 OFF 합니다.
ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다 .
14
11
12
7
4
8
3
1
NEXT INTERFACE 회로
Lane 1
NEXT INTERFACE 커넥터
본체 NEXT INTERFACE 상류기
BUSY IN
(N0110320)
BUSY OUT
+24V
+24V
UR OUT
(T01100E6)
LR IN
(N0110323)
+24V
LS IN
(N0110324)
UR IN
LR OUT
LS OUT
BA OUT
(T01100E5)
BA IN
I/O BOARD
GND GND
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
57A0 6 -N3 -0 0
■
기판반송 신호사양 (
NEXT INTERFACE)
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 +24V 입력공 통 (+24V) 기판 반입중 신호입력
2 BUSY IN N 011032 0 전압입력
3 BA OUT T 0110 0E5 릴레이 접점 （무전압） 출력 기판 반출요구 신호출력
4 BA OUT T 0110 0E5 릴레이 접점 （무전압） 출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지）
7 GND
8 비었음
9 UR OUT T01100E6 릴레이 접점 （무전압） 출력 자동 운전중 신호출력
10 UR OUT T01100E6 릴레이 접점 （무전압） 출력
11 +24V 입력공 통 (+24V) 자동 운전중 신호입력
12 LR IN N0110323 전압입력
13 +24V 입력공통 (+24V) 레인선택 신호입력
14 LS IN N0110324 전압입력
A-7
A
█
Lane 2
하기의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반출을 시작합니다.
1.본체가기판반출가능한상태（BAOUT2:ON）
2.하류측장비에서기판반입신호를입력한상태（BUSYIN2[N01102A2]:ON）
3.하류측장비에서자동운전신호를입력한상태（LRIN2[N01102A5]:ON）
n
요점
ㆍ 기판 반출중에 하류측 장비의 자동 운전중 신호（LR IN 2）가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다.
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단되었을 경우, BA OUT 2 를 OFF 합니다.
ㆍ BUSY IN 2 와 BA OUT 2 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다.
14
11
12
7
4
8
3
1
NEXT INTERFACE 회로
Lane 2
NEXT INTERFACE 커넥터
본체 NEXT INTERFACE
상류기
BUSY IN 2
(N01102A2)
+24V
+24V
UR OUT 2
(T0110112)
LR IN 2
(N01102A5)
+24V
LS IN 2
(N01102A6)
BA OUT 2
(T0110111)
BUSY OUT 2
UR IN 2
LR OUT 2
LS OUT 2
BA IN 2
I/O BOARD
GND GND
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
57A07-N3 -0 0
■
기판반송 신호사양 (
NEXT INTERFACE)
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 +24V 입력공통 (+24V) 기판 반입중 신호입력
2 BUSY IN 2 N01102A2 전압입력
3 BA OUT 2 T0110111 릴레이 접점 （무전압） 출력 기판 반출요구 신호출력
4 BA OUT 2 T0110111 릴레이 접점 （무전압） 출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지）
7 GND
8 비었음
9 UR OUT 2 T0110112 릴레이 접점 （무전압） 출력 자동 운전중 신호출력
10 UR OUT 2 T 0110112 릴레이 접점 （무전압） 출력
11 +24V 입력공통 (+24V) 자동 운전중 신호입력
12 LR IN 2 N 0110 2 A 5 전압입력
13 +24V 입력공통 (+24V) 레인선택 신호입력
14 LS IN 2 N01102 A6 전압입력