YSP20_Users_K.pdf - 第160页

5-32 5 7 .3 형 상 파라미터 「형 상 」탭 을 선 택 하 면 아 래 의 형 상 파 라 미 터 를 설 정 할 수 있 습 니 다 . 형상 파라미터 [레인전환] 버튼 685 33-N 3-0 0 형상 타입 형상타입 에 는 5 종류가 있 습니 다 . 사 용 할 마크 에 맞추어 리스트 에서 선택 하여 주 십 시 오 . 형상 타입 설 명 예 원 사각형 •장방형 정삼각형 특수형상 각 검출 마크의 …

100%1 / 280
5-31
5
7.2 기본 라미
「기」탭「마」을 .
기본 파라미터
1 2
68531-N3-0 0
1. 마크타입
피듀셜 마크「기판 피듀셜」, 마스크 듀셜 마크작성할 때에「마스크 피듀셜」을 드롭
트에 선택합니다 .
2. 데이터베이스 번호
이터스로부터 마크의 파라미터 값을 사할 수가 있습 . [D/B] 튼을 , 「마크 이터」화면
표시됩니다 . 복사마크 이터선택 , [ ] 버튼르면 복사됩니 . 「데이터 , 복사원
이터호가 표시됩 .
데이터베이스 일람
[세팅] 버튼
[세팅] 버튼
68532-N3-00
5-32
5
7.3 파라미터
「형」탭.
형상 파라미터
[레인전환] 버튼
68533-N3-00
형상 타입
형상타입5 종류가 습니 . 마크맞추어 리스트에서 선택하여 .
형상 타입 설 명
사각형•장방형
정삼각형
특수형상
각 검출
마크의 형상이 원형일 경우에 선택합니다.
마크의 형상이 가로 또는 세로의 직사각형일 경우에 선택합니다.
마크의 형상이 정삼각형일 경우에 선택합니다.
패턴 등의 각부를 마크로 검출할 경우에 선택합니다.
형상 타입
마크의 형상이 원, 직사각형, 정삼각형 이외로, 1개의 물체로 된 경우에
선택합니다.
67518-N3 -00
참고
의 그럼 2 개 이의 마를 조합하여 1 의 마크로 사용할 때「패」으로 등록해 주십 . 이런 경「형
」은 인상 무므로 어느 타으로 설도 무관. 패등록에 대는 제 7 「2. 」을 참해 주십
오.
패턴의 형상 예
67519-N3- 0 0
5-33
5
A,B. 마크외형 X,Y
마크의 형치수를 입력 . 참조 , 등으로 계측정확수치주십시 .
마크 외형 형상 타입
X
X
Y
Y
지름의 길이를 입력한다
각변의 길이를 입력한다
한 변의 길이를 입력한다
X의 길이를 「마크외형 X」로, Y의 길이
를 「마크외형 Y」에 입력한다
마크 검출 범위내에 표시된 두 변중에 짧은
변의 길이를 입력한다
사각형•장방형
정삼각형
특수형상
각 검출
마크 외형
67520 -N3 - 00
C: 크면
파라미터 , 「형상타입」「특수형상으로 설정표시됩니다 . 마크의 면적mm 단위로 하여 .
D: 마크 주변길이
파라미터 , 「형상타입」을 「특수형」으로 설정표시 .
마크의 주변 mm 단위력하여 주십시 .
n
요점
의 상태 등 환에 의 , 인의 값이 실와 달라 , 에가 나올 경가 있 . 그럴 경, 인파라
「마크 인」를 크게 하,「마크 인」를 일단 100% 로 설하여 보조조의 인스트를 실 , 얻은 면
과 주이 데를 입. 데를 얻은 후는 , 「마크 인」를 원의 값으로 되돌려 주십 .