YSI SP 手册.pdf - 第120页
2-87 2 5. 按 [ ＞＞ ] 按钮。 “自动设置领域基准”画面 6 7 8 262C2-KMN-00 6. 从下列选项中选择适合设定领域基准的选项。 “设定为只有布线 ( 设定为只有图样 )” 、 “布线优先 ( 优先图样 )” 、 “绿油优先 ( 优先阻绝层 )” 、 “只设置绿油 ( 设定为只有 阻绝层 )” 按 [ 确认 ] 按钮，以当前的设置分配邻域基准。 7. 决定设置领域基准的分割。领域基准是以 1 个…
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3.按 [ ＞＞ ] 按钮，显示抽出的图样的图像。
“自动设置领域基准”画面
抽出的图样的图像
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4.对抽出图样、阻绝层进行设置。
项目 内容
光源调整 设定抽出图样、阻绝层用的高度测量用条纹图像的光源。
测试 ( 对比度 ) 上限 调节抽出图样、阻绝层部时的上限阈值。
式样 ( 图样 ) 下限 调节抽出图样部时的下限阈值。
样和注册 ( 阻绝层 ) 下限 调节抽出阻绝层部时的下限阈值。
一次放入 再次拍摄高度测量用条纹图像。
确认 从拍摄的高度测量用条纹图像中抽出图样部与阻绝层部，并以粉红色与橙色显示。
前视场 ( 视野 )、下一个视场 ( 视野 ) 移动到需要确认图样、阻绝层抽出部的视野。
式样 ( 图样 ) 部显示 / 注册 ( 阻绝层 ) 部
显示切换按钮
选择点击 [ 确认 ] 按钮时的显示。
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5.按 [ ＞＞ ] 按钮。
“自动设置领域基准”画面
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6.从下列选项中选择适合设定领域基准的选项。
“设定为只有布线 ( 设定为只有图样 )”、“布线优先 ( 优先图样 )”、“绿油优先 ( 优先阻绝层 )”、“只设置绿油 ( 设定为只有
阻绝层 )”
按 [ 确认 ] 按钮，以当前的设置分配邻域基准。
7.决定设置领域基准的分割。领域基准是以 1 个分割领域为 1 点。
8.设置完成之后，按 [OK] 按钮。
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2. 自动执行
“自动设置领域基准”画面
自动执行
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1.进行上述设置确认之后，按 [ 自动执行 ] 按钮，对所有视野进行邻域基准的设置。结束之后，会显示提示信息，点击 [OK]
按钮退出。
参考
若在自动执行过程中按了 2. 的 [ 中止 ] 按钮，可以中断自动执行。
3. 计算修正值
1.如 1 图所示，在画面左侧的图像上直接选择图样部与阻绝层部。
2.按 [ 计算修正值 ] 按钮，计算修正值。
“自动设置领域基准”画面
计算修正值
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