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Rev.2.00 MS 参数 参 数 参 数 参 数 4-77 与 MS 参数一 样，用 设定 贴装头 选择测 定的贴 装头， 按照操 作程序 进行 操作。 操作方 法和显 示画面 与 MS 参数基 本相同 。 自我 校准， 显示为 故障解 析值和 生产使 用值的 2 值 。 故障 解析值 是 MS 参数取 得的值 ，生产 使用值 是自我 校准 取得的 值 。 自我 校准时 ， 与 MS 参数相 同， 在 “ 真空达 到情况 ”、“ 自…
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MS 参数
参数参数
参数
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4
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4-
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-15.2.
15.2.15.2.
15.2. 自我校准
自我校准自我校准
自我校准
请选择维修 → 自我校准、设定组 →真空校准。
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MS 参数
参数参数
参数
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与 MS 参数一样，用设定贴装头选择测定的贴装头，按照操作程序进行操作。操作方法和显示画面与
MS 参数基本相同。
自我校准，显示为故障解析值和生产使用值的 2 值。
故障解析值是 MS 参数取得的值，生产使用值是自我校准取得的值。
自我校准时，与 MS 参数相同，在“真空达到情况”、“自然破坏情况”以及“加压破坏情况”的各条件压力
变化显示后，比较故障解析值和生产使用值，进行故障分析。
有问题时，显示通知。根据通知实施对策。
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MS 参数
参数参数
参数
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4
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4-
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-16.
16.16.
16. XY
XYXY
XY 轴偏航
轴偏航轴偏航
轴偏航
本参数是软件调试用的参数。请绝对不要变更。
4
44
4-
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-17.
17.17.
17. 映射校正
映射校正映射校正
映射校正
本参数是软件调试用的参数。请绝对不要变更。