CX-1_MS.pdf - 第97页

Rev.2.00 MS 参数 参 数 参 数 参 数 4-62 < < < < 操 作 操作 操作 操作 ・3/ 4> ・3/ 4> ・3/ 4> ・3/ 4> 通过演示, 求可动轨道内侧的 Y 坐标, 然 后按 HOD 的确定键 。 演 示 完 毕, 用 求的 Y 坐 标 计算 新 的偏 差 值 。 准备完毕,选择确认 。 < < < < 操 作 操作 操作 操作 ・4/ 4> ・4/ 4> ・4/ 4> ・4/ 4> 设定完毕 。 …

100%1 / 131
Rev.2.00
MS 参数
4-61
4
44
4-
--
-9.
9.9.
9. 传送
传送传送
传送
4
44
4-
--
-9.1.
9.1.9.1.
9.1. AWC
AWCAWC
AWC 偏差
偏差偏差
偏差
选购选购
选购
4
44
4-
--
-9
99
9-
--
-1
11
1-
--
-1
11
1
功能
功能功能
功能
演示原点复位时的传送宽度,以便 AWC 能正确动作
No
项目 设定内容
1
原点偏差
AWC
原点设计位置的偏差值
2
调整宽度偏差
AWC
移动时的富余宽度
4
44
4-
--
-9
99
9-
--
-1
11
1-
--
-2
22
2
使用
使用使用
使用
本设定不使用夹具
4
44
4-
--
-9
99
9-
--
-1
11
1-
--
-3.
3.3.
3.
操作操作
操作
选择了[偏差设定(O)][传送偏(R)][AWC偏差(A)...]之后,显示出下面的调整AWC偏差的设定画面。
操作操作
操作・1/4>
・1/4>・1/4>
・1/4>
准备完毕,请选择确认
AWC 复位OCC
移动到基准轨上
原点在最大基板宽度附近
操作操作
操作・2/4>
・2/4>・2/4>
・2/4>
通过演示,求基准轨道内侧的 Y 坐标,
后按 HOD 确定键
准备完毕,请选择确认
选择确认之后,OCC 移动到可动轨上
Rev.2.00
MS 参数
4-62
操作操作
操作・3/4>
・3/4>・3/4>
・3/4>
通过演示,求可动轨道内侧的 Y 坐标,
后按 HOD 的确定键
毕,求的 Y 计算的偏
准备完毕,选择确认
操作操作
操作・4/4>
・4/4>・4/4>
・4/4>
设定完毕
选择了确认之后,返回到初期设定画面
4
44
4-
--
-9
99
9-
--
-1
11
1-
--
-4
44
4.MS
.MS.MSP
.MS允许
允许允许
允许
±
Rev.2.00
MS 参数
4-63
4
44
4-
--
-9.2.
9.2.9.2.
9.2. 后备偏差
后备差值后备差值
后备差值
4
44
4-
--
-9
99
9-
--
-2
22
2-
--
-1
11
1
功能
功能功能
功能
为了后备表正常动作,演示基板厚度=0 时的后备表的位置
4
44
4-
--
-9
99
9-
--
-2
22
2-
--
-2
22
2
使用
使用使用
使用
本设定不使用夹具
4
44
4-
--
-9
99
9-
--
-2
22
2-
--
-3
33
3
操作
操作操作
操作
选择了[偏差设定(O)][传送偏(R)][后备表偏差(B)...]之后,显示出下列后备表偏差设定画
操作操作
操作・1/3>
・1/3>・1/3>
・1/3>
准备完毕,选择确认
选择确认之后,后备表复位原点,移动到
测定位置
操作操作
操作・2/3>
・2/3>・2/3>
・2/3>
通过演示,样后备台上升,传送皮带在钳
夹用部件和接触的位置,按 HOD 的确定
准备完毕,请选择确认
操作操作
操作・3/3>
・3/3>・3/3>
・3/3>
设定完毕
选择确认之后,返回初期设定画面
4
44
4-
--
-9
99
9-
--
-2
22
2-
--
-4
44
4
MSP
MSPMSP
MSP 允许
允许允许
允许
±