CX-1_MS.pdf - 第26页
Rev.2.00 MS 参数 参 数 参 数 参 数 3-6 3 3 3 3 - - - - 5. 5. 5. 5. 动作 规 格 动作 规 格 动作 规 格 动作 规 格 3-5.1. 功能 设定各轴的动作和传送动作的详细规格 。 3-5.2. 使用夹具 本设定不使用夹具 。 3-5.3. 操作 选择了 [ 初期设定 （Ｉ）][ 动作规格 （Ｓ）... ] 之后，下面的画面显示出来 。 各项目请用黑点选择动作规范 。 ３－５ －３－ …
Rev.2.00
MS 参数
参数参数
参数
3-5
3
33
3－
－－
－4
44
4－
－－
－3
33
3－
－－
－2
22
2．
．．
．单元
单元单元
单元(
((
(其它
其它其它
其它)
))
)
选择了单元(其它)之后，下列的画面被显示出来。
安装的单元变更为未安装之后，机器设
置的“使用单元”对应的装置自动地变成
“不使用”。
追加单元等由未安装变更未安装之后，
机器设置的“使用单元”对应的装置自动
地变更“使用”。
３－４－３－３．
３－４－３－３．３－４－３－３．
３－４－３－３．VCS
VCSVCS
VCS
选择了 VCS（选购）之后，下列画面显示出来。
用黑点选择安装的单元。
把安装的单元变更为未安装之后，机器
设置的“使用单元”对应的装置自动地变
成“不使用”。
追加单元等把未安装变更为安装之后，机器设置的“使用单元”对应的装置自动地变更为“使用”。
Rev.2.00
MS 参数
参数参数
参数
3-6
3
33
3-
--
-5.
5.5.
5. 动作规格
动作规格动作规格
动作规格
3-5.1. 功能
设定各轴的动作和传送动作的详细规格。
3-5.2. 使用夹具
本设定不使用夹具。
3-5.3. 操作
选择了[初期设定（Ｉ）][动作规格（Ｓ）...]之后，下面的画面显示出来。各项目请用黑点选择动作规范。
３－５－３－１．
３－５－３－１．３－５－３－１．
３－５－３－１．动作规范
动作规范动作规范
动作规范（
（（
（传送基本设定
传送基本设定传送基本设定
传送基本设定）
））
）
选择动作规范（传送基本设置）之后，左
面的画面显示出来。请用黑点选择动作规
范。
Rev.2.00
MS 参数
参数参数
参数
3-7
Ｎｏ
项目 设定内容
１ １－１．连接规格 连接规格
（×）：标准规格(初期值)
●基板传送时间（其它设定全部初期值）
●基板送出时间（其它设定全部初期值）
（ ）：ＳＭＥＭＡ
●基板送入时间（其它设定全部初期值）
●基板送出时间（其它设定全部初期值）
※注： 部与ＯＮ／ＯＦＦ状态无关。
ＯＮ
ＩＮ传感器 ＯＦＦ
ON
IN 马达 ＯＦＦ
ON
WAIT 传感器 ＯＦＦ
ON
STOP 传感器 OFF
ON
READY OUT OFF
Board ＯＮ
Available OFF
ＯＮ
STOP 传感器 ＯＦＦ
ON
C. OUT 传感器 ＯＦＦ
ON
OUT 传感器 ＯＦＦ
ON
OUT 马达 OFF
ON
Board ＯＮ
Ａｖａｉｌａｂｌｅ I Out ＯＦＦ
ON
READY IN OFF
ＯＮ
ＩＮ传感器 ＯＦＦ
ON
IN 马达 ＯＦＦ
ON
WAIT 传感器 ＯＦＦ
ON
STOP 传感器 OFF
ON
READY OUT OFF
Board ＯＮ
ＡｖａｉｌａｂｌｅＩ Ｎ ＯＦＦ
ＯＮ
STOP 传感器 ＯＦＦ
ON
C. OUT 传感器 ＯＦＦ
ON
OUT 传感器 ＯＦＦ
ON
OUT 马达 OFF
ON
Board ＯＮ
ＡｖａｉｌａｂｌｅＩ In ＯＦＦ
ON
READY IN OFF