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Bedienungsanleitung Testprogramm SITEST 5 Feinkalibrie rung Software-Version 40 4.xx Ausgabe 08/98 5.2 Ausführung der Feinkalibrierung 5 - 9 ● Wenn Sie all gemeine I nform ationen z um Feink alibrie rungs-M eßprogr amm e…

5 Feinkalibrierung Bedienungsanleitung Testprogramm SITEST
5.2 Ausführung der Feinkalibrierung Software-Version 404.xx Ausgabe 08/98
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●
Klicken Sie den Eintrag für das gewünschte Meßprogramm an, und bestätigen Sie die Auswahl mit
Übernehmen
. Der Meßvorgang wird gestartet.
HINWEIS
Solange die Feinkalibrierung aktiv ist, sind sämtliche Funktionen des Testprogramms SITEST
gesperrt. Während des gesamten Meßvorgangs wird die Meldung "Messung läuft" angezeigt.
Ein Dialogfenster wird geöffnet, in welchem der gerade aktuelle Meßvorgang beobachtet werden
kann. Es werden jeweils die Paßmarken angezeigt, die gerade vermessen werden (siehe nachfolgen-
des Beispiel).
Abb. 5.2.2 Anzeige der Meßvorgänge
Im Infofeld werden evtl. erforderliche Hinweise zur aktuellen Messung angezeigt.
In der Statuszeile wird angezeigt, welches Bildfeld (bzw. welche Passmarke) gerade vermessen wird.
Infofeld
Statuszeile
Marken

Bedienungsanleitung Testprogramm SITEST 5 Feinkalibrierung
Software-Version 404.xx Ausgabe 08/98 5.2 Ausführung der Feinkalibrierung
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●
Wenn Sie allgemeine Informationen zum Feinkalibrierungs-Meßprogramm erhalten wollen, klicken
Sie die Schaltfläche
Info
an. Die nachfolgende Infobox wird angezeigt.
●
Schließen Sie die Infobox wieder mit
OK
.
●
Wenn Sie die Messung vorzeitig abbrechen wollen, klicken Sie die Schaltfläche
Abbruch
im Dialog-
fenster an. Eine Dialogbox mit der Abfrage, ob sie die Messung beenden wollen, wird geöffnet.
●
Klicken Sie
Ja
an, wenn Sie die Messung tatsächlich abbrechen wollen.
Die Dialogbox schließt sich und die Feinkalibrierung wird ohne Ergebnis beendet.
0.9

5 Feinkalibrierung Bedienungsanleitung Testprogramm SITEST
5.2 Ausführung der Feinkalibrierung Software-Version 404.xx Ausgabe 08/98
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Wenn alle Marken vermessen wurden, wird das Dialogfenster "Ergebnisse der Kalibrierung" geöffnet.
Abb. 5.2.3 Ergebnisse der Kalibrierung
Legende zu
Abb. 5.2.3
➀
Auswahl-/Anzeigefeld In diesem Feld wird der Name der Messung angezeigt, deren Ergebnisse
dargestellt werden (z.B. "Aktuelle Messung" nach einem Meßzyklus).
➁
Pfeiltaste zum Öffnen der Um sich die Ergebnisse einer zu einem anderen Zeitpunkt durchgeführten
Dateiauswahl für Messungen Messung anzeigen zu lassen, kann aus dem Archiv die gewünschte
Messung ausgewählt werden (z.B. "Messung Nr. 2")
➂
Radioknöpfe zur Auswahl Die Meßergebnisse für die ausgewählte Achse werden angezeigt.
der x- bzw. y-Achse oder
der d-Achse (nur IC-Kopf)
➃
Grafikbereich In diesem Bereich werden die für die ausgewählte Achse ermittelten
Positionsabweichungen grafisch dargestellt.
➄
Kontrollkästchen Im Bedarfsfall wird das entsprechende Kontrollkästchen automatisch aktiviert,
z.B. wenn ein systematischer Fehler bei der Messung aufgetreten ist.
➅
Anzeigebereich Die bei der Messung ermittelten Werte werden in den entsprechenden
Feldern angezeigt.
➆
Schaltflächen HINWEIS Die Funktionen der einzelnen Schaltflächen werden in der
nachfolgenden Tabelle kurz erläutert.
➀
➂
➁
➄
➅
➆
➃
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