NPM服务手册.pdf - 第131页
NPM 服务手册 4.5 12 吸嘴头 EN1SCC-83-050-B0 4.5-10 5. 卸下 θ 电机 / 皮带。 (1) 解除皮带张力。 (M4) (2) 卸下螺栓后，卸下 θ 电机。 (3) 取下皮带。
NPM
服务手册
4.5 12 吸嘴头
EN1SCC-83-050-B0
4.5-9
4. 卸下头装置部的θ装置。
卸下阀 / 传感器关系。(图 3)
卸下θ装置的头装置部背面的螺栓 (4-M5)
后，卸下θ装置。
(图 4)
传感器
阀
(图 3)
(图 4)
NPM
服务手册
4.5 12 吸嘴头
EN1SCC-83-050-B0
4.5-10
5. 卸下θ电机 / 皮带。
(1) 解除皮带张力。(M4)
(2) 卸下螺栓后，卸下θ电机。
(3) 取下皮带。
NPM
服务手册
4.5 12 吸嘴头
EN1SCC-83-050-B0
4.5-11
6. 交换θ电机 / 皮带。
安装θ电机的滑轮。
安装皮带。
安装θ电机。
绷紧暂时张力。
=注意=
应将支架的 L 侧向外侧，绷紧皮带。
A
BC
※请注意不要将文字
颠倒
=注意=