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NPM 服务手册 9.3 控制零件 ( 从市面销售零件使 用说明书中摘录 ) EN1SCC-83-R30-B0 9.3-7 “清除峰值”按钮 (F3 键也可 ) 调整规格值 ( 请不要变更 ) 判定结果显示 规格值内 : OK 规 格值外 : NG 信度强度的横条图以及 最大 / 最小峰值显示 (%) 可以用最大 / 最小峰值显示 [Hold clear] 按钮清除黄色线 Lissajous curves (3 tracks) 程序结束…
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服务手册
9.3 控制零件 (从市面销售零件使用说明书中摘录)
EN1SCC-83-R30-B0
9.3-6
开始信号调整、完成初始设定后，将会显示右图的 “开始信号调
整。” 的信息。
在 Loop 的时间码往上增加之间，请按照画面的显示，在
50mm/sec 以下的速度，将检测头 (或者刻度) 移动 60mm 以上。
在移动时，自动算出内部信号的调整数据。
=注意=
移动方向哪一边都可以，但在 60mm 的移动范围内
请务必向一定方向移动。
在 60mm 的范围内向反方向移动，有时不能进行正常的信号
调整。
移动检测头 (或者刻度) 后，为了确认信号是否已被正确调整，
显示右图的“确认信号调整。”的信息。
在 Loop 的时间码往上增加之间，请按照画面的显示，
再次在 50mm/sec 以下的速度，将检测头 (或者刻度)
移动 60mm以上。移动目标位置是最初的信号调整中移动的位置。
在移动时，自动算出内部信号的调整数据后，
与最初的调整数据做比较，确认是否正常。
=注意=
移动方向哪一边都可以，但在 60mm 的移动范围内请务必向一定
方向移动。在 60mm 的范围内向反方向移动，有时不能进行正常
的信号调整。
调整数据正常时
信号调整完成后，内部信号的调整数据正常时，将会约 3 秒钟
显示右图的 “正常结束了” 的信息后，本程序将会自动结束。
调整数据异常时
在信号调整完成后，内部信号的调整数据异常时，
将会显示右图的 “调整数据异常!! ” 的信息。
请用“确认按钮”或者“Enter” 键结束本程序后，
再次从「画面显示」进行操作。
=注意=
如果在内部信号的调整数据异常的状态下启动系统，
有可能不能得到规定的精度，请务必进行信号调整。
连接、通信异常
启动「信号调整 Start」的程序后，显示右图的 “通信错误”
的信息时，请确认以下几点。
(1) 确认电源
(2) 确认连接的电缆类。
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9.3 控制零件 (从市面销售零件使用说明书中摘录)
EN1SCC-83-R30-B0
9.3-7
“清除峰值”按钮
(F3
键也可
)
调整规格值
(请不要变更)
判定结果显示
规格值内: OK
规
格值外: NG
信度强度的横条图以及
最大 / 最小峰值显示 (%)
可以用最大 / 最小峰值显示 [Hold clear]
按钮清除黄色线
Lissajous curves
(3 tracks)
程序结束按钮
利萨如曲线的显示
(3 个记录槽)
信号 Monitor
<信号 Monitor>程序的处理内容
本程序获取检测头的 3 个记录槽的信号后，将其显示在画面上。
另外，根据获取的信号，算出各记录槽的信号强度并显示以下。
最大 / 最小峰值
对于规格值的判定
画面显示
从主菜单选择<信号 Monitor>菜单，
在初始设定完成后将会显示右图的画
面。
如果使检测头在刻度上扫描，将会
显示各记录槽的利萨如曲线 (圆形
显示) 、信号强度的横条图、以及最
大 / 最小峰值。
连接、通信异常
启动<信号调整 Monitor>的程序后，如果显示右图的 “通信错误” 信息，请确认以下几点
(1) 确认电源。
(2) 确认连接的电缆类。
原点设定
「原点设定」程序的处理内容
本程序在刻度的任意位置可以设定刻度原点 (位置数据为 “0”) 。
出厂时，原点位于刻度有效长度的几乎中央位置，但根据需要可以重新设定。
画面显示
如果从主菜单选择「原点设定」菜单，将会显示右图的画面。请将检
测头 (或者刻度) 移动到将绝对值数据设定为 “0” 的位置后，单击
“SET” 按钮。用“ENTER”键也可以设定。
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9.3 控制零件 (从市面销售零件使用说明书中摘录)
EN1SCC-83-R30-B0
9.3-8
警报代码
“0” 为正常
警报代码的内容
分解力设定按钮
注： 0.1 µm 规格的场合
显示过去 50 点的位置数据
可以暂时停止数据的获取。再次
按此处，就会开始获取。
现在位置的显示
原点设定处理结束后，将会约 3 秒钟显示右图的
“原点设定结束了。” 的信息后，本程序将会自动结束。
原点设定完成后，请用下一个<位置数据确认>菜单进行现在位置的
确认。
如果原点位置未被设置，请再次进行「原点设定」程序。
=注意=
我们建议确认「原点设定」是否已确实进行。此时的步骤，如下所示。
(1) 重新接通检测头的电源。
(2) 用「位置数据确认」程序，确认现在位置。
连接、通信异常
在设定原点时，如果显示右图的 “通信错误” 信息，请确认以下几
点。
(1) 确认电源。
(2) 确认连接的电缆类。
确认位置数据
<位置数据确认>程序的处理内容
本程序可以显示现在位置和过去 50 点的位置数据图表以及警报代码。
画面显示
从主菜单选择<位置数据确认>
菜单，将会显示右图的画面。
位置数据图表的横轴表示读取次
数，纵轴表示绝对位置。
另外，由于纵轴是自动刻度，按
照过去 50 点的移动量，自动刻
度将会变化。
结束本程序时，请单击“结束” 按
钮。
=注意=
分解力设定按钮，通常在 0.5μm 侧使用。
本按钮，制品规格为 0.1μm 分解力时，将会自动切换。