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NPM 服务手册 6.1 机器的输入输出的确认 EN1SCC-61-010-A0 6.1-7 I / O 输出 (0060 ～ 0064)# 1 地址 比特 名称 电缆 No 备注 0 传感器遥控示教 ( 实装位置 1) 传感器放大器下游侧第 3,4 号 1 传感器遥控示教 ( 实装位置 2) 传感器放大器下游侧第 6,7,9,10 号 2 F 传感器遥控示教 ( 右待机、实装位置 1) 传感器放大器下游侧第 1,2,5 号 3 F…
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服务手册
6.1 机器的输入输出的确认
EN1SCC-61-010-A0
6.1-6
I / O 输入 (0040～0044)# 1
地址 比特 名称 电缆 No 备注
0
真空泵温度异常
# 1
电源装置有热
1
真空泵温度异常
#2
2
装置之间预备输入
1
3
装置之间预备输入
2
4
预备输入
5
F
料架盖
6
R
料架盖
IN
0040
环
I/O
# 1
7
开口部传感器
(
邻接装置
)
B1020/B1021
左右的开口部，各有
1
套
0
F
托盘
or
台车连接确认
CART.F
1
R
托盘
or
台车连接确认
CART.R
2
基板检测传感器
2 (
实装位置
# 1)
B1112
3
基板检测传感器
2 (
实装位置
# 2)
B1113
传感器
AMP
下游侧第
9
号
4
F
基板检测传感器
(
右延长传送带
)
B1114
站传送带
5
基板检测传感器
5 (
实装位置
# 1)
B1115
传感器
AMP
下游侧第
3
号
6
R
基板检测传感器
(
右延长传送带
)
B1116
IN
0041
环
I/O
# 1
7
基板检测传感器
5 (
实装位置
# 2)
B1117
传感器
AMP
下游侧第
6
号
0
F
右待机 基板检测传感器
2
B1120
传感器 AMP 下游侧第 1 号
1
F
右待机 基板检测传感器
1
B1121
传感器 AMP 下游侧第 2 号
2
基板检测传感器 4 (实装位置 # 1)
B1122
传感器 AMP 下游侧第 4 号
3
基板检测传感器 3 (实装位置 # 1)
B1123
传感器 AMP 下游侧第 5 号
4
基板检测传感器 4 (实装位置 # 2)
B1124
传感器 AMP 下游侧第 7 号
5
基板检测传感器 3 (实装位置 # 2)
B1125
传感器 AMP 下游侧第 8 号
6
F
左待机 基板检测传感器
2
B1126
传感器 AMP 下游侧第 11 号
IN
0042
环
I/O
# 1
7
F
左待机 基板检测传感器
1
B1127
传感器 AMP 下游侧第 12 号
0
R
右待机 基板检测传感器
2
B1130
1
R
右待机 基板检测传感器
1
B1131
2
R
左待机 基板检测传感器
2
B1132
3
R
左待机 基板检测传感器
1
B1133
4
基板检测传感器
1 (
实装位置
# 1)
B1134
5
F
基板检测传感器
(
左延长传送带
)
B1135
HUB
传送带
6
基板检测传感器
1 (
实装位置
# 2)
B1136
传感器
AMP
下游侧第
10
号
IN
0043
环
I/O
# 1
7
R
基板检测传感器
(
左延长传送带
)
B1137
0
基板支架交换
ILK (
实装位置
# 1)
B1140R
1
基板支架交换
ILK (
实装位置
# 2)
B1141R
2
装置之间预备输入
1
3
装置之间预备输入
2
4
R
前工序基板搬送控制输入
# 0
5
R 前工序基板搬送控制输入 # 1
6
R 后工序基板搬送控制输入 # 0
IN
0044
环
I/O
# 1
7
R 后工序基板搬送控制输入 # 1
NPM
服务手册
6.1 机器的输入输出的确认
EN1SCC-61-010-A0
6.1-7
I / O 输出 (0060～0064)# 1
地址 比特 名称 电缆 No 备注
0
传感器遥控示教
(
实装位置
1)
传感器放大器下游侧第
3,4
号
1
传感器遥控示教
(
实装位置
2)
传感器放大器下游侧第
6,7,9,10
号
2
F
传感器遥控示教
(
右待机、实装位置
1)
传感器放大器下游侧第
1,2,5
号
3
F
传感器遥控示教
(
左待机
)
传感器放大器下游侧第
11,12
号
4
R
传感器遥控示教
(
右待机、实装位置
2)
传感器放大器下游侧第
8
号
5
R
传感器遥控示教
(
左待机
)
6
传感器遥控示教
(
右延长传送带
)
OUT
0060
环
I/O
# 1
7
传感器遥控示教
(
左延长传送带
)
0
F
右待机区域传送带启动
/Stop
M601
1
F
实装区域传送带启动
/Stop
M602
2
F
左待机区域传送带启动
/Stop
M603
3
基板夹具上升
(
实装位置
#1)
R4113
电磁阀
4
R
右待机区域传送带启动
/Stop
M604
5
R
实装区域传送带启动
/Stop
M605
6
R
左待机区域传送带启动
/Stop
M606
OUT
0061
环
I/O
# 1
7
基板夹具上升
(
实装位置
#2)
R4117
电磁阀
0
F
右延长传送带启动
M621
站传送带
1
R
右延长传送带启动
M622
站传送带
2
F
左延长传送带启动
M611
HUB
传送带
3
R
左延长传送带启动
M612
HUB
传送带
4
左装置要求信号
bit 0
5
左装置要求信号
bit 1
6
右装置要求信号
bit 0
OUT
0062
环
I/O
# 1
7
右装置要求信号
bit 1
0
支架交换上升
(
实装位置
# 1)
1
支架交换下降
(
实装位置
# 1)
2
支架交换上升
(
实装位置
# 2)
3
支架交换下降
(
实装位置
# 2)
4
预备输出
5
预备输出
6
预备输出
OUT
0063
环
I/O
# 1
7
预备输出
0
预备输出
1
预备输出
2
预备输出
3
预备输出
4
预备输出
5
预备输出
6
预备输出
OUT
0064
环
I/O
# 1
7
预备输出
NPM
服务手册
6.1 机器的输入输出的确认
EN1SCC-61-010-A0
6.1-8
I / O 输入 (0080～0084)# 2
地址 比特 名称 电缆 No 备注
0
F
料架开口部传感器
4
B1200T
B1200R
从内侧第
1
号
F
工作台盖浮起
1
F
料架开口部传感器
3
B1201T
B1201R
从内侧第
2
号
F
编带进给位置
2
F
料架开口部传感器
2
B1202T
B1202R
从内侧第
3
号
F
料架上部安全确认
1
3
F
料架开口部传感器
1
B1203T
B1203R
从内侧第
4
号
F
料架上部安全确认
2
4
R
料架开口部传感器
4
B1204T
B1204R
从内侧第
1
号
R
工作台盖浮起
5
R
料架开口部传感器
3
B1205T
B1205R
从内侧第
2
号
R
编带进给位置
6
R
料架开口部传感器
2
B1206T
B1206R
从内侧第
3
号
R
料架上部安全确认
1
IN
0080
环
I/O
# 2
7
R
料架开口部传感器
1
B1207T
B1207R
从内侧第
4
号
R
料架上部安全确认
2
0
F
台车工作台锁定解除确认
B1210P
汽缸极限
SW
1
F
台车插入确认
S3211L
极限
SW
2
F
废料盒有无检测
B1212R
3
预备输入
4
R
台车固定装置连接
5
R
台车中继装置连接
6
R
台车工作台锁定解除确认
B1216
汽缸极限
SW
IN
0081
环
I/O
# 2
7
R
台车插入确认
B3217
极限
SW
0
D
冷却
FAN
警报检测
G103R
盖上部
Rear FAN
1
E
冷却
FAN
警报检测
2
R
废料盒有无检测
B1224
3
搬送规格 (搬送方向)
B1143
短销
1:
逆向
4
搬送规格
BIT0
B1144
短销
5
搬送规格 BIT1
B1145
短销
6
搬送规格 BIT2
B1146
短销
IN
0082
环
I/O
# 2
7
搬送规格 BIT3
B1147
短销
0
左侧连接识别信号
bit 0
1
左侧连接识别信号
bit
１
01:LNB 10:NPML 11:
检查
2
预备输入
3
基板支架交换下限
(
实装位置
# 1)
4
基板支架交换下限
(
实装位置
# 2)
5
基板支架交换下限
(
实装位置
# 3)
6
基板支架交换下限
(
实装位置
# 4)
IN
0083
环
I/O
# 2
7
前工序生产结束
(FEND)
Option
0
F
电离器警报
1
R
电离器警报
2
右侧连接识别信号
bit 0
3
右侧连接识别信号
bit 1
01:HUB St 10:NPML
4
预备输入
5
预备输入
6
基板吸着真空检测
# 1
Option
IN
0084
环
I/O
# 2
7
基板吸着真空检测
# 2
Option