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NPM 服务手册 4.6 8 吸嘴 头 EN1SCC-83-060-B0 4.6-14 4. 卸下滚珠花键的滚珠丝杠的 连接部。 =  = 请参照滚珠花键的交换 ‘4.6.2-3’ 。 5. 卸下头装置部的 θ 装置。  卸下阀 / 传感器关系。  卸下 θ 装置的头装置部背面的螺栓 (4-M5) 后，卸下 θ 装置。 6. 卸下 θ 电机 / 皮带。 (1) 解除皮带张力。 (M4) (3) 取下皮带。 皮带 (2) 卸下螺栓后…