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NPM 服务手册 6.1 机器的输入输出的确认 EN1SCC-61-010-A0 6.1-4 6.1.3 I / O MAP  I / O 输入 (0000 ～ 0004)# 0 地址 比特 名称 电缆 No 备注 0 F 前工序容许 (MF.BA) SMEMA 连接器 1 F 后工序 READY (MR.RDY) SMEMA 连接器 2 R 前工序容许 (SF.BA) SMEMA 连接器 3 R 后工序 READY (SR.RDY)…

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NPM
服务手册
6.1 机器的输入输出的确认
EN1SCC-61-010-A0
6.1-3
6.1.2 输出确认
以下说明可动部是否正常运转 (动作 / 停止) 的确认方法。
2.
1. 查找目的的 I / O 地址。
== 请参照‘6.1.3 的 I / O MAP’ 。
2. 变为工程师模式或者服务工程师模式。
3. 选择 (1) ~ (2) 。
4. 按下[输出确认] 。
将会显示输出确认的画面。
5. 按下频道＃0 ~ ＃2， 或者 ，
显示目的的地址。
6. 按下<enabling> + [地址名称] 。
状态部将变为 OFF → ON，可动部会运转。
不正常运转 (动作 / 停止) 时，
可判断为故障或断线。
4
(1)
(2)
地址
4
NPM
服务手册
6.1 机器的输入输出的确认
EN1SCC-61-010-A0
6.1-4
6.1.3 I / O MAP
I / O 输入 (0000～0004)# 0
地址 比特 名称 电缆 No 备注
0
F
前工序容许
(MF.BA)
SMEMA
连接器
1
F
后工序
READY (MR.RDY)
SMEMA 连接器
2
R
前工序容许
(SF.BA)
SMEMA 连接器
3
R
后工序
READY (SR.RDY)
SMEMA 连接器
4
F
前工序 基板搬送控制输入
# 0
5
F
前工序 基板搬送控制输入
# 1
6
R
后工序 基板搬送控制输入
# 0
IN
0000
环
I/O
# 0
7
R
后工序 基板搬送控制输入
# 1
0
安全盖
1
S301R
Front
安全键
SW
1
安全盖
2
S302R
Rear
安全键
SW
2
预备输入
3
电源置于
ON
，并处于安全继电器状态
4
安全盖
3
S303R
Front
极限
SW
5
安全盖
4
S304R
Rear
极限
SW
6
瞬间停电检测状态
电源装置
IN
0001
环
I/O
# 0
7
紧急停止
SW
S201R/S202R
0
搬送开口部传感器
(
左
)
B1021T/R
连接部
50P
连接器
(
后
)
1
搬送开口部传感器
(
右
)
B1020T/6
连接部
50P
连接器
(
前
)
2
供给部规格
bit 0
3
供给部规格
bit 1
4
供给部规格
bit 2
5
供给部规格
bit 3
6
安全继电器状态
IN
0002
环
I/O
# 0
7
安全继电器复位状态
0
F
交换器连接检测
CHNG
连接器
1
R
交换器连接检测
CHNG
连接器
2
扫描器要求
3
主空气压
B1033
4
F 3D
传感器连接确认
5
F 3D
传感器异常
6
R 3D
传感器连接确认
IN
0003
环
I/O
# 0
7
R 3D
传感器异常
0
F
盖无效化检测
1
R
盖无效化检测
2
F
电磁锁定状态
3
R
电磁锁定状态
4
F
供给部
ILK
输入
(Cart)
5
R
供给部
ILK
输入
(Cart)
6
伺服
SW
输入
S101R/S111R
IN
0004
环
I/O
# 0
7
1
次电源位相连接状态
在电源装置内，有位相传感
器
NPM
服务手册
6.1 机器的输入输出的确认
EN1SCC-61-010-A0
6.1-5
I / O 输出 (0020～0024)# 0
地址 比特 名称 电缆 No 备注
0
F
前工序
READY (M.FOK)
SMEMA 连接器
1
F
后工序容许
(MRBA)
SMEMA 连接器
2
R
前工序
READY (S.FOK)
SMEMA 连接器
3
R
后工序容许
(SRBA)
SMEMA 连接器
4
左工序 基板搬送控制输出
# 0
5
左工序 基板搬送控制输出
# 1
6
右工序 基板搬送控制输出
# 0
OUT
0020
环
I/O
# 0
7
右工序 基板搬送控制输出
# 1
0
紧急停止输出
S201R/S202R
1
F
电磁锁定输出
未使用
2
R
电磁锁定输出
未使用
3
预备输出
4
预备输出
5
预备输出
6
F
芯片厚度传感器开始
OUT
0021
环
I/O
# 0
7
R
芯片厚度传感器开始
0
真空泵启动
1
1
预备泵启动
未使用
2
基板吸着泵
1
Option
3
基板吸着泵
2
Option
4
计时器输出
B4001
5
瞬间停止检测电路复位
6
安全继电器复位
OUT
0022
环
I/O
# 0
7 POWER
ON
0
自动运转中
Option
1
等待前工序
Option
2
等待后工序
Option
3
停止
(
故障
)
Option
4
基板排出
Option
5
基板搬入
ILK
输出
# 1
Option
6
基板搬入
ILK
输出
# 2
Option
OUT
0023
环
I/O
# 0
7
前工序生产结束
(FEND)
Option
0
预备输出
1
信号塔 蓝
2
信号塔 红
3
信号塔 黄
4
信号塔 绿
B2001R
5
蜂鸣器
6
F
元件用完照明
B2002
OUT
0024
环
I/O
# 0
7
R
元件用完照明
B2003