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NPM 服务手册 9.3 控制零件 ( 从市面销售零件使用说明书中摘录 ) EN1SCC-83-R30-B0 9.3-8 警报代码 “0” 为正常警报代码的内容分解力设定按钮注： 0.1 µm 规格的场合显示过去 5 0 点的位置数据可以暂时停止数据的获取。再次按此处，就会开始获取。现在位置的显示原点设定处理结束后，将会约 3 秒钟显示右图的 “ 原点设定结束了。 ” 的信息后，本程序将会自动结束。原点设定完成后，…

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9.3 控制零件 (从市面销售零件使用说明书中摘录)

EN1SCC-83-R30-B0

9.3-7

“清除峰值”按钮

(F3

键也可

)

调整规格值

(请不要变更)

判定结果显示

规格值内: OK

规

格值外: NG

信度强度的横条图以及

最大 / 最小峰值显示 (%)

可以用最大 / 最小峰值显示 [Hold clear]

按钮清除黄色线

Lissajous curves

(3 tracks)

程序结束按钮

利萨如曲线的显示

(3 个记录槽)

 信号 Monitor

<信号 Monitor>程序的处理内容

本程序获取检测头的 3 个记录槽的信号后，将其显示在画面上。

另外，根据获取的信号，算出各记录槽的信号强度并显示以下。

 最大 / 最小峰值

 对于规格值的判定

画面显示

从主菜单选择<信号 Monitor>菜单，

在初始设定完成后将会显示右图的画

面。

如果使检测头在刻度上扫描，将会

显示各记录槽的利萨如曲线 (圆形

显示) 、信号强度的横条图、以及最

大 / 最小峰值。

连接、通信异常

启动<信号调整 Monitor>的程序后，如果显示右图的 “通信错误” 信息，请确认以下几点

(1) 确认电源。

(2) 确认连接的电缆类。

 原点设定

「原点设定」程序的处理内容

本程序在刻度的任意位置可以设定刻度原点 (位置数据为 “0”) 。

出厂时，原点位于刻度有效长度的几乎中央位置，但根据需要可以重新设定。

画面显示

如果从主菜单选择「原点设定」菜单，将会显示右图的画面。请将检

测头 (或者刻度) 移动到将绝对值数据设定为 “0” 的位置后，单击

“SET” 按钮。用“ENTER”键也可以设定。

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EN1SCC-83-R30-B0

9.3-8

警报代码

“0” 为正常

警报代码的内容

分解力设定按钮

注： 0.1 µm 规格的场合

显示过去 50 点的位置数据

可以暂时停止数据的获取。再次

按此处，就会开始获取。

现在位置的显示

原点设定处理结束后，将会约 3 秒钟显示右图的

“原点设定结束了。” 的信息后，本程序将会自动结束。

原点设定完成后，请用下一个<位置数据确认>菜单进行现在位置的

确认。

如果原点位置未被设置，请再次进行「原点设定」程序。

=注意=

我们建议确认「原点设定」是否已确实进行。此时的步骤，如下所示。

(1) 重新接通检测头的电源。

(2) 用「位置数据确认」程序，确认现在位置。

连接、通信异常

在设定原点时，如果显示右图的 “通信错误” 信息，请确认以下几

点。

(1) 确认电源。

(2) 确认连接的电缆类。

 确认位置数据

<位置数据确认>程序的处理内容

本程序可以显示现在位置和过去 50 点的位置数据图表以及警报代码。

画面显示

从主菜单选择<位置数据确认>

菜单，将会显示右图的画面。

位置数据图表的横轴表示读取次

数，纵轴表示绝对位置。

另外，由于纵轴是自动刻度，按

照过去 50 点的移动量，自动刻

度将会变化。

结束本程序时，请单击“结束” 按

钮。

=注意=

分解力设定按钮，通常在 0.5μm 侧使用。

本按钮，制品规格为 0.1μm 分解力时，将会自动切换。

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9.3-9

警报代码的内容

发生警报时的警报内容，如下图所示。

No. 警报内容原因

超时发现了 5m/sec 以上的速度。

重新确认使用条件(驱动)

机械的振动影响

电气性干扰的影响

1 初始化错误

在刚接通电源时，或者在收到复位 ID 后的初

始化中发生了错误的原因。

未能合成绝对位置。

闪存的故障

温度传感器的故障

2 硬件错误在信号处理回路的自我诊断时发生了异常。

ADC 的故障、断线

闪存的故障、断线

FPGA 的故障

电气性干扰的影响

3 ABS 检测错误绝对位置的合成发生了错误。

Scale A、B、C 之中任何一个的检测异常

⇒刻度的断线

由于检测头和刻度的安装不良引起的绝对位

置的合成错误

转换器错误

(刻度错误)

刻表信号发生了异常。

⇒在 Scale A、B、C 的各记录槽之间

发生了不平衡现象

由于检测头和刻度的安装不良引起的信号不

平衡

检测头的故障

5 信号强度错误

因刻度信号强度过大或者过小，输出数据有

可能异常。

检测头和刻度的安装不良

电气性干扰的影响

有可能刻度或检测头的图形断线

刻度和检测头之间有可能附着金属片

信号强度警报

・

刻度信号强度过大或者过小

⇒位置数据没有错误，但需要安装等的调

整。

・

如果信号强度回到规定的范围内，则警报

将解除。

检测头和刻度的安装不良

电气性干扰的影响

7 热警报

・

检测头内部的温度超过 65℃时，作为警告

输出错误。

・

虽然位置数据没有错误，但在此状态下使

用就会成为故障的原因，有必要重新确认

使用条件或安装环境。

电机的发热过大

注) 检测头内部的温度大约高于户外温度 5

℃，敬请注意。

连接、通信异常

启动<位置数据确认>的程序后，出现右图的 “通信错误” 的信息时，请确认以下几点。

(1) 确认电源。

(2) 确认连接的电缆类。