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本服务资料仅以有经验的维修技术人员为对象编写的，不适合一般的操作人员使用。
对于进行产品服务时有可能产生的危险性，本服务资料中未记载不具备专业技术知识的
人员应注意的事项。
对于靠电力运行的产品，必须由有经验的专业技术人员进行修理和服务。
如果由其他人员按照本服务资料进行维修和服务时，则有可能发生重大的人身伤亡事
故。
本机使用一部分微软公司的软件，在主控制器附近贴有软件使用许可标志。
该标志上标有证明使用许可的 Product ID。
请不要撕掉或污损该标志。
另外，Product ID 也可以在 “System Parameter” 画面上进行确认。
请参照 “参考手册 / 系统设定 / 系统参数设定 / 产品 ID”。
EN1SCC-00-020-D0
警告
NPM
服务手册
EN1SCC-02-020-F0
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EN1SCC-02-020-F0
目录
1. 关于本书的使用方法
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1-1
1.1. 关于本书的使用方法 ............................................................................................... 1.1-1
1.1.1 机密管理 ......................................................................................................... 1.1-1
1.1.2 本书的使用方法............................................................................................... 1.1-1
1.1.3 管理编号 ......................................................................................................... 1.1-1
1.1.4 正文中的表示方法 ........................................................................................... 1.1-3
2. 安装
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2-1
2.1. 安装 ........................................................................................................................ 2.1-1
2.1.1 安装确认检查 .................................................................................................. 2.1-1
2.2. 空气压力的设定 ...................................................................................................... 2.2-1
2.2.1 主空气压力的调整 ........................................................................................... 2.2-1
2.2.2 真空破坏压力调整 ........................................................................................... 2.2-3
3. 准备器材
･･････････････････････････････････････････････････････
3-1
3.1. 专用治具工具一览................................................................................................... 3.1-1
3.2. 市售治具和工具一览表 ........................................................................................... 3.2-1
4. 维护指南 (机械)
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4-1
4.1. 调整基准值 ............................................................................................................. 4.1-1
4.2. 搬送传送带和基板支架 (单轨传送带) .................................................................... 4.2-1
4.2.1 搬送导轨宽度调整 ........................................................................................... 4.2-1
4.2.2 搬送轨道的高度和平面度 ................................................................................ 4.2-2
4.2.3 搬送轨道的宽度和平行度 ................................................................................ 4.2-4
4.2.4 搬送部电机的交换 ........................................................................................... 4.2-6
4.2.5 基板检测传感器的设定 .................................................................................... 4.2-7
4.2.6 基板支架装置的拆卸和安装............................................................................. 4.2-9
4.2.7 支撑电机和滚珠丝杠的交换........................................................................... 4.2-12
4.2.8 支撑板的高度和平面度 .................................................................................. 4.2-15
4.3. XY 轴驱动关系........................................................................................................4.3-1
4.3.1 线性刻度的调整............................................................................................... 4.3-1
4.3.2 XY 原点调整....................................................................................................4.3-3
4.3.3 Y 轴干涉 PH 的调整 ........................................................................................ 4.3-7
4.3.4 电缆支架的交换............................................................................................... 4.3-8