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NPM 服务手册 6.1 机器的输入输出的确认 EN1SCC-61-010-A0 6.1-5 I / O 输出 (0020 ～ 0024)# 0 地址 比特 名称 电缆 No 备注 0 F 前工序 READY (M.FOK) SMEMA 连接器 1 F 后工序容许 (MRBA) SMEMA 连接器 2 R 前工序 READY (S.FOK) SMEMA 连接器 3 R 后工序容许 (SRBA) SMEMA 连接器 4 左工序 基板搬…
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服务手册
6.1 机器的输入输出的确认
EN1SCC-61-010-A0
6.1-4
6.1.3 I / O MAP
I / O 输入 (0000～0004)# 0
地址 比特 名称 电缆 No 备注
0
F
前工序容许
(MF.BA)
SMEMA
连接器
1
F
后工序
READY (MR.RDY)
SMEMA 连接器
2
R
前工序容许
(SF.BA)
SMEMA 连接器
3
R
后工序
READY (SR.RDY)
SMEMA 连接器
4
F
前工序 基板搬送控制输入
# 0
5
F
前工序 基板搬送控制输入
# 1
6
R
后工序 基板搬送控制输入
# 0
IN
0000
环
I/O
# 0
7
R
后工序 基板搬送控制输入
# 1
0
安全盖
1
S301R
Front
安全键
SW
1
安全盖
2
S302R
Rear
安全键
SW
2
预备输入
3
电源置于
ON
，并处于安全继电器状态
4
安全盖
3
S303R
Front
极限
SW
5
安全盖
4
S304R
Rear
极限
SW
6
瞬间停电检测状态
电源装置
IN
0001
环
I/O
# 0
7
紧急停止
SW
S201R/S202R
0
搬送开口部传感器
(
左
)
B1021T/R
连接部
50P
连接器
(
后
)
1
搬送开口部传感器
(
右
)
B1020T/6
连接部
50P
连接器
(
前
)
2
供给部规格
bit 0
3
供给部规格
bit 1
4
供给部规格
bit 2
5
供给部规格
bit 3
6
安全继电器状态
IN
0002
环
I/O
# 0
7
安全继电器复位状态
0
F
交换器连接检测
CHNG
连接器
1
R
交换器连接检测
CHNG
连接器
2
扫描器要求
3
主空气压
B1033
4
F 3D
传感器连接确认
5
F 3D
传感器异常
6
R 3D
传感器连接确认
IN
0003
环
I/O
# 0
7
R 3D
传感器异常
0
F
盖无效化检测
1
R
盖无效化检测
2
F
电磁锁定状态
3
R
电磁锁定状态
4
F
供给部
ILK
输入
(Cart)
5
R
供给部
ILK
输入
(Cart)
6
伺服
SW
输入
S101R/S111R
IN
0004
环
I/O
# 0
7
1
次电源位相连接状态
在电源装置内，有位相传感
器
NPM
服务手册
6.1 机器的输入输出的确认
EN1SCC-61-010-A0
6.1-5
I / O 输出 (0020～0024)# 0
地址 比特 名称 电缆 No 备注
0
F
前工序
READY (M.FOK)
SMEMA 连接器
1
F
后工序容许
(MRBA)
SMEMA 连接器
2
R
前工序
READY (S.FOK)
SMEMA 连接器
3
R
后工序容许
(SRBA)
SMEMA 连接器
4
左工序 基板搬送控制输出
# 0
5
左工序 基板搬送控制输出
# 1
6
右工序 基板搬送控制输出
# 0
OUT
0020
环
I/O
# 0
7
右工序 基板搬送控制输出
# 1
0
紧急停止输出
S201R/S202R
1
F
电磁锁定输出
未使用
2
R
电磁锁定输出
未使用
3
预备输出
4
预备输出
5
预备输出
6
F
芯片厚度传感器开始
OUT
0021
环
I/O
# 0
7
R
芯片厚度传感器开始
0
真空泵启动
1
1
预备泵启动
未使用
2
基板吸着泵
1
Option
3
基板吸着泵
2
Option
4
计时器输出
B4001
5
瞬间停止检测电路复位
6
安全继电器复位
OUT
0022
环
I/O
# 0
7 POWER
ON
0
自动运转中
Option
1
等待前工序
Option
2
等待后工序
Option
3
停止
(
故障
)
Option
4
基板排出
Option
5
基板搬入
ILK
输出
# 1
Option
6
基板搬入
ILK
输出
# 2
Option
OUT
0023
环
I/O
# 0
7
前工序生产结束
(FEND)
Option
0
预备输出
1
信号塔 蓝
2
信号塔 红
3
信号塔 黄
4
信号塔 绿
B2001R
5
蜂鸣器
6
F
元件用完照明
B2002
OUT
0024
环
I/O
# 0
7
R
元件用完照明
B2003
NPM
服务手册
6.1 机器的输入输出的确认
EN1SCC-61-010-A0
6.1-6
I / O 输入 (0040～0044)# 1
地址 比特 名称 电缆 No 备注
0
真空泵温度异常
# 1
电源装置有热
1
真空泵温度异常
#2
2
装置之间预备输入
1
3
装置之间预备输入
2
4
预备输入
5
F
料架盖
6
R
料架盖
IN
0040
环
I/O
# 1
7
开口部传感器
(
邻接装置
)
B1020/B1021
左右的开口部，各有
1
套
0
F
托盘
or
台车连接确认
CART.F
1
R
托盘
or
台车连接确认
CART.R
2
基板检测传感器
2 (
实装位置
# 1)
B1112
3
基板检测传感器
2 (
实装位置
# 2)
B1113
传感器
AMP
下游侧第
9
号
4
F
基板检测传感器
(
右延长传送带
)
B1114
站传送带
5
基板检测传感器
5 (
实装位置
# 1)
B1115
传感器
AMP
下游侧第
3
号
6
R
基板检测传感器
(
右延长传送带
)
B1116
IN
0041
环
I/O
# 1
7
基板检测传感器
5 (
实装位置
# 2)
B1117
传感器
AMP
下游侧第
6
号
0
F
右待机 基板检测传感器
2
B1120
传感器 AMP 下游侧第 1 号
1
F
右待机 基板检测传感器
1
B1121
传感器 AMP 下游侧第 2 号
2
基板检测传感器 4 (实装位置 # 1)
B1122
传感器 AMP 下游侧第 4 号
3
基板检测传感器 3 (实装位置 # 1)
B1123
传感器 AMP 下游侧第 5 号
4
基板检测传感器 4 (实装位置 # 2)
B1124
传感器 AMP 下游侧第 7 号
5
基板检测传感器 3 (实装位置 # 2)
B1125
传感器 AMP 下游侧第 8 号
6
F
左待机 基板检测传感器
2
B1126
传感器 AMP 下游侧第 11 号
IN
0042
环
I/O
# 1
7
F
左待机 基板检测传感器
1
B1127
传感器 AMP 下游侧第 12 号
0
R
右待机 基板检测传感器
2
B1130
1
R
右待机 基板检测传感器
1
B1131
2
R
左待机 基板检测传感器
2
B1132
3
R
左待机 基板检测传感器
1
B1133
4
基板检测传感器
1 (
实装位置
# 1)
B1134
5
F
基板检测传感器
(
左延长传送带
)
B1135
HUB
传送带
6
基板检测传感器
1 (
实装位置
# 2)
B1136
传感器
AMP
下游侧第
10
号
IN
0043
环
I/O
# 1
7
R
基板检测传感器
(
左延长传送带
)
B1137
0
基板支架交换
ILK (
实装位置
# 1)
B1140R
1
基板支架交换
ILK (
实装位置
# 2)
B1141R
2
装置之间预备输入
1
3
装置之间预备输入
2
4
R
前工序基板搬送控制输入
# 0
5
R 前工序基板搬送控制输入 # 1
6
R 后工序基板搬送控制输入 # 0
IN
0044
环
I/O
# 1
7
R 后工序基板搬送控制输入 # 1