NPM服务手册.pdf - 第235页
NPM 服务手册 6.1 机器的输入输出的确认 EN1SCC-61-010-A0 6.1-6 I / O 输入 (0040 ～ 0044)# 1 地址 比特 名称 电缆 No 备注 0 真空泵温度异常 # 1 电源装置有热 1 真空泵温度异常 #2 2 装置之间预备输入 1 3 装置之间预备输入 2 4 预备输入 5 F 料架盖 6 R 料架盖 IN 0040 环 I/O # 1 7 开口部传感器 ( 邻接装置 ) B1020/B1…
NPM
服务手册
6.1 机器的输入输出的确认
EN1SCC-61-010-A0
6.1-5
I / O 输出 (0020～0024)# 0
地址 比特 名称 电缆 No 备注
0
F
前工序
READY (M.FOK)
SMEMA 连接器
1
F
后工序容许
(MRBA)
SMEMA 连接器
2
R
前工序
READY (S.FOK)
SMEMA 连接器
3
R
后工序容许
(SRBA)
SMEMA 连接器
4
左工序 基板搬送控制输出
# 0
5
左工序 基板搬送控制输出
# 1
6
右工序 基板搬送控制输出
# 0
OUT
0020
环
I/O
# 0
7
右工序 基板搬送控制输出
# 1
0
紧急停止输出
S201R/S202R
1
F
电磁锁定输出
未使用
2
R
电磁锁定输出
未使用
3
预备输出
4
预备输出
5
预备输出
6
F
芯片厚度传感器开始
OUT
0021
环
I/O
# 0
7
R
芯片厚度传感器开始
0
真空泵启动
1
1
预备泵启动
未使用
2
基板吸着泵
1
Option
3
基板吸着泵
2
Option
4
计时器输出
B4001
5
瞬间停止检测电路复位
6
安全继电器复位
OUT
0022
环
I/O
# 0
7 POWER
ON
0
自动运转中
Option
1
等待前工序
Option
2
等待后工序
Option
3
停止
(
故障
)
Option
4
基板排出
Option
5
基板搬入
ILK
输出
# 1
Option
6
基板搬入
ILK
输出
# 2
Option
OUT
0023
环
I/O
# 0
7
前工序生产结束
(FEND)
Option
0
预备输出
1
信号塔 蓝
2
信号塔 红
3
信号塔 黄
4
信号塔 绿
B2001R
5
蜂鸣器
6
F
元件用完照明
B2002
OUT
0024
环
I/O
# 0
7
R
元件用完照明
B2003
NPM
服务手册
6.1 机器的输入输出的确认
EN1SCC-61-010-A0
6.1-6
I / O 输入 (0040～0044)# 1
地址 比特 名称 电缆 No 备注
0
真空泵温度异常
# 1
电源装置有热
1
真空泵温度异常
#2
2
装置之间预备输入
1
3
装置之间预备输入
2
4
预备输入
5
F
料架盖
6
R
料架盖
IN
0040
环
I/O
# 1
7
开口部传感器
(
邻接装置
)
B1020/B1021
左右的开口部，各有
1
套
0
F
托盘
or
台车连接确认
CART.F
1
R
托盘
or
台车连接确认
CART.R
2
基板检测传感器
2 (
实装位置
# 1)
B1112
3
基板检测传感器
2 (
实装位置
# 2)
B1113
传感器
AMP
下游侧第
9
号
4
F
基板检测传感器
(
右延长传送带
)
B1114
站传送带
5
基板检测传感器
5 (
实装位置
# 1)
B1115
传感器
AMP
下游侧第
3
号
6
R
基板检测传感器
(
右延长传送带
)
B1116
IN
0041
环
I/O
# 1
7
基板检测传感器
5 (
实装位置
# 2)
B1117
传感器
AMP
下游侧第
6
号
0
F
右待机 基板检测传感器
2
B1120
传感器 AMP 下游侧第 1 号
1
F
右待机 基板检测传感器
1
B1121
传感器 AMP 下游侧第 2 号
2
基板检测传感器 4 (实装位置 # 1)
B1122
传感器 AMP 下游侧第 4 号
3
基板检测传感器 3 (实装位置 # 1)
B1123
传感器 AMP 下游侧第 5 号
4
基板检测传感器 4 (实装位置 # 2)
B1124
传感器 AMP 下游侧第 7 号
5
基板检测传感器 3 (实装位置 # 2)
B1125
传感器 AMP 下游侧第 8 号
6
F
左待机 基板检测传感器
2
B1126
传感器 AMP 下游侧第 11 号
IN
0042
环
I/O
# 1
7
F
左待机 基板检测传感器
1
B1127
传感器 AMP 下游侧第 12 号
0
R
右待机 基板检测传感器
2
B1130
1
R
右待机 基板检测传感器
1
B1131
2
R
左待机 基板检测传感器
2
B1132
3
R
左待机 基板检测传感器
1
B1133
4
基板检测传感器
1 (
实装位置
# 1)
B1134
5
F
基板检测传感器
(
左延长传送带
)
B1135
HUB
传送带
6
基板检测传感器
1 (
实装位置
# 2)
B1136
传感器
AMP
下游侧第
10
号
IN
0043
环
I/O
# 1
7
R
基板检测传感器
(
左延长传送带
)
B1137
0
基板支架交换
ILK (
实装位置
# 1)
B1140R
1
基板支架交换
ILK (
实装位置
# 2)
B1141R
2
装置之间预备输入
1
3
装置之间预备输入
2
4
R
前工序基板搬送控制输入
# 0
5
R 前工序基板搬送控制输入 # 1
6
R 后工序基板搬送控制输入 # 0
IN
0044
环
I/O
# 1
7
R 后工序基板搬送控制输入 # 1
NPM
服务手册
6.1 机器的输入输出的确认
EN1SCC-61-010-A0
6.1-7
I / O 输出 (0060～0064)# 1
地址 比特 名称 电缆 No 备注
0
传感器遥控示教
(
实装位置
1)
传感器放大器下游侧第
3,4
号
1
传感器遥控示教
(
实装位置
2)
传感器放大器下游侧第
6,7,9,10
号
2
F
传感器遥控示教
(
右待机、实装位置
1)
传感器放大器下游侧第
1,2,5
号
3
F
传感器遥控示教
(
左待机
)
传感器放大器下游侧第
11,12
号
4
R
传感器遥控示教
(
右待机、实装位置
2)
传感器放大器下游侧第
8
号
5
R
传感器遥控示教
(
左待机
)
6
传感器遥控示教
(
右延长传送带
)
OUT
0060
环
I/O
# 1
7
传感器遥控示教
(
左延长传送带
)
0
F
右待机区域传送带启动
/Stop
M601
1
F
实装区域传送带启动
/Stop
M602
2
F
左待机区域传送带启动
/Stop
M603
3
基板夹具上升
(
实装位置
#1)
R4113
电磁阀
4
R
右待机区域传送带启动
/Stop
M604
5
R
实装区域传送带启动
/Stop
M605
6
R
左待机区域传送带启动
/Stop
M606
OUT
0061
环
I/O
# 1
7
基板夹具上升
(
实装位置
#2)
R4117
电磁阀
0
F
右延长传送带启动
M621
站传送带
1
R
右延长传送带启动
M622
站传送带
2
F
左延长传送带启动
M611
HUB
传送带
3
R
左延长传送带启动
M612
HUB
传送带
4
左装置要求信号
bit 0
5
左装置要求信号
bit 1
6
右装置要求信号
bit 0
OUT
0062
环
I/O
# 1
7
右装置要求信号
bit 1
0
支架交换上升
(
实装位置
# 1)
1
支架交换下降
(
实装位置
# 1)
2
支架交换上升
(
实装位置
# 2)
3
支架交换下降
(
实装位置
# 2)
4
预备输出
5
预备输出
6
预备输出
OUT
0063
环
I/O
# 1
7
预备输出
0
预备输出
1
预备输出
2
预备输出
3
预备输出
4
预备输出
5
预备输出
6
预备输出
OUT
0064
环
I/O
# 1
7
预备输出