KE-3010A_机器控制参数.pdf - 第60页
机器控制参数 2- 51 2-3-4 HMS 夹紧 2-3-4-1 设定项目 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 两个阶段固定阈值 1/10000mm 参照 2-3-4-2 两个阶段固定 阈值 2 两个阶段 HMS 偏移量 - 100000 0 100000 0 1/10000mm 2-3-4-2 两个阶段固定阈值 No. 基板规格 最小值 最大值 1 L 基板规格 4100000 8000000 2 L- Wide…

机器控制参数
2-50
2-3-3 AWC
马达
如将驱动属性内的“动作区分”设置为欲编辑的索引,即可对所设置的区分之“加速度”、“减速度”、
“最高速度”、“反冲击率”进行编辑。
2-3-3-1
设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1 脉冲移动量 0 2
0.1µm/Puls
e
2
驱动属性
动作区分
0
9
参照
2-3-3-2
动作区分
3
加速度
G
4
减速度
G
5
最高速度
Pulse/sec
6
反冲击率
%
7
定位精度
2-3-3-2
动作区分
No.
类别
内容
1
0
PTP
动作
2
1
OG
基础属性
3
2
单步
4
3
返回原点(查找
HOME
)
5
4
返回原点(查找
Z
相)
6
5
~
9
预备

机器控制参数
2-51
2-3-4 HMS
夹紧
2-3-4-1
设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1
两个阶段固定阈值
1/10000mm
参照
2-3-4-2
两个阶段固定
阈值
2
两个阶段
HMS
偏移量
-100000
0
100000
0
1/10000mm
2-3-4-2
两个阶段固定阈值
No.
基板规格
最小值
最大值
1
L
基板规格
4100000
8000000
2
L-Wide
基板规格
5100000
10100000
3
XL
基板规格
6100000
12100000

机器控制参数
2-52
2-4
图像
2-4-1 OCC
照明模式