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机器控制参数 2- 68 2-4- 12 MNVC FCS 控制参数 2-4- 12 -1 设定项目 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 数据有效／无效 0 1 0 ：无效 1 ：有效（默认） ※ 2 标记形状 0 ：圆 3 极性 0 ：正转 1 ：反转 4 标记尺寸 0.1 μ m 默认： 4 0000 ※ 在 “ 数据有效 / 无效 ” 选择了 “ 无效 ” 后，以后的项目不能编辑。
机器控制参数
2-67
2-4-11 MNVC
元件控制
2-4-11-1
设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1
数据有效／无效
0
1
0：无效
1：有效（默认）
※
2
纵长姿势控制最小长边尺寸
默认：
200100
3
适用的最大长边尺寸
默认：265099
4
最大对角尺寸
默认：
307000
5
适用的最大短边尺寸（扩展）
默认：335099
6
最大对角尺寸（扩展）
默认：473800
※ 在“数据有效/无效”选择了“无效”后，以后的项目不能编辑。
机器控制参数
2-68
2-4-12 MNVC FCS
控制参数
2-4-12-1
设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1
数据有效／无效
0
1
0：无效
1：有效（默认）
※
2
标记形状
0
：圆
3
极性
0
：正转
1
：反转
4
标记尺寸
0.1μm
默认：40000
※ 在“数据有效/无效”选择了“无效”后，以后的项目不能编辑。
机器控制参数
2-69
2-4-13
设置
OCC
坏板标记
2-4-13-1
设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1
对比度图案
0
19
2
最大值
3
最小值