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机器控制参数 2- 82 2-5-5 特殊吸嘴计时校正值 2-5-5-1 设定项目 与 “2-5-1-1 吸 嘴信息 - 吸嘴计时 ” 的设置 同义。
机器控制参数
2-81
2-5-4 ATC
2-5-4-1
设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1
ATC选择
0 1
0：标准
1：大型
2
Z轴交换吸嘴高度保持
时间
归还吸嘴时（Wait A
）
3
安装吸嘴时（
Wait B）
4
吸嘴外壳碎裂对策 2段
控制高度
归还吸嘴时
5
安装吸嘴时
6
从吸嘴高度到滑板高度
之间的偏移量
归还吸嘴时
7
安装吸嘴时
8
Z
方向变更速度的高度偏移量
9
从滑板传感器打开到Z方向开始上升为止的时间
10
从滑板驱动到滑板传感器确认的停顿时间
11
关闭滑板后等待时间
12
打开滑板等待时间
13
XY轴磁尺与回转式编码
器之脉冲差的极限
X
14
Y
机器控制参数
2-82
2-5-5
特殊吸嘴计时校正值
2-5-5-1
设定项目
与“2-5-1-1 吸嘴信息-吸嘴计时”的设置同义。
机器控制参数
2-83
2-5-6
真空（真空校准）
2-5-6-1
设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1
吸取真空压下限值（-500mmHg相当）
0 7
2
吸取真空压界限值（-50mmHg相当）
3
到达真空试验时间
默认：300ms
4
自然破坏实验时间
默认：200ms
5
加压破坏实验时间
默认：
200ms
6
吹气调整时间
7
吹气开始计时
8
真空破坏延迟时间