KE-3010A_机器控制参数.pdf - 第78页
机器控制参数 2- 69 2-4- 13 设置 OCC 坏板标记 2-4- 13 -1 设定项目 No. 项目 输入范围 单位 备考 最小值 最大值 1 对比度图案 0 19 2 最大值 3 最小值
机器控制参数
2-68
2-4-12 MNVC FCS
控制参数
2-4-12-1
设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1
数据有效／无效
0
1
0：无效
1：有效（默认）
※
2
标记形状
0
：圆
3
极性
0
：正转
1
：反转
4
标记尺寸
0.1μm
默认：40000
※ 在“数据有效/无效”选择了“无效”后，以后的项目不能编辑。
机器控制参数
2-69
2-4-13
设置
OCC
坏板标记
2-4-13-1
设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1
对比度图案
0
19
2
最大值
3
最小值
机器控制参数
2-70
2-4-14
数字放大
2-4-14-1
设定项目
No.
项目
输入范围
单位
备考
最小值
最大值
1
对象
0
1
0：L-OCC
1
：
R-OCC
2
数据有效／无效
0
1
0：无效
1：有效（默认）
※
3
控制表 表号
0
3
4
倍率
0
3
0：限定
1：等倍
2：2倍
3：4倍
5
应用最大长边尺寸
※ 在“数据有效/无效”选择了“无效”后，以后的项目不能编辑。