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NPM-GP/L 202 2.0 928 - 104 - (下箱 图) 基本规格尺寸 ( 鼓风机吸引 规格 ) ( 单位 :mm) 270 ( 基板宽 - 30) 290 ( 基板宽 -1 0) 材质:铝合金板 (A201 7) 处理:不要 ■设计条件 基板尺寸 (L) 350mm× (W) 300mm 避开用 箱体定位用 (仅 鼓风机吸引 时,不要 已经打开的情况下请塞 住使用)

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NPM-GP/L 2022.0928
- 103 -
基板吸着箱设计例(混合吸着类型:鼓风机+真空喷射吸引)
(组装图)
(
单位
: mm)
(上板图
上板设计例 (鼓风机吸引规格)
上板
箱体
安装间距(100 前后)
安装间距
(100 前后)
吸着箱宽
(基板宽-10)
基板宽度
传送基准
(单位:mm)
●使用基板的宽度需符合图中的
「基板宽度」
●箱长须在 510mm 以下。
传送基准
埋头孔
■设计条件
基板尺寸 (L) 350mm×
(W) 300mm
材质:铝合金板 (A2017)
处理:不要
基本规格尺寸 (鼓风机吸引规格)
箱长
NPM-GP/L 2022.0928
- 104 -
(下箱图)
基本规格尺寸 (鼓风机吸引规格)
(单位:mm)
270 (基板宽
-30)
290 (基板宽
-10)
材质:铝合金板 (A2017)
处理:不要
■设计条件
基板尺寸 (L) 350mm×
(W) 300mm
避开用
箱体定位用
(仅鼓风机吸引时,不要
已经打开的情况下请塞住使用)
NPM-GP/L 2022.0928
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基板吸着箱设计例(只使用真空泵吸引
(
单位
: mm)
(组装图)
(上板图)
基本规格尺寸 (真空泵吸引规格)
上板设计例 (真空泵吸引规格)
(单位:mm)
(单位:mm)
箱长
安装间距(100 前后)
安装间距
(100 前后)
吸着箱宽
(基板宽-10)
基板宽度
传送基准
上板
箱体
传送基准
埋头孔 6
材质:铝合金板 (A2017)
处理:不要
●使用基板的宽度需符合图中的
「基板宽度」
●箱长须在 350mm 以下。
●与
SP28P-D
以前的机型一起使用
时,基板吸着箱上需要留出避开传感
器的部位,请另行商谈
■设计条件
基板尺寸 (L) 350mm×
(W) 300mm
●与 SP28P-D 前的机型一起使
用时,基板吸着箱上需要留出避
开传感器的部位,请另行商谈。