SM482(L)_PLUS_Admin(Chi_Ver2.4).pdf - 第373页
14-27 Machine Cal ibration 14.3.3. 基准照相机测量 基准相机未进行校正时， 剩下的按钮不会被激活。 <1. Fid. Scale Mark Position> 按钮 设置处于 ANC 顶面的 Fiducial Mark 的位 置。 下面是用基准相机 T eaching 示教 ANC 顶面的校正 T oo1 的 R eference Fiduc ial Mark 过程。 1. 1.Mark…
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14.3.2. 歪斜修正
Skew意味着设备移动后对Y1和Y2轴X轴不形成垂直状态，补偿发生的歪斜。 这个
鼻息在设备的最初安装及移动后执行。对Y轴执行螺母补偿方法如下;
注 意 最初设备的安装及移动后，执行初始化之前必须执行 <螺母补偿
>。否则设备驱动中可能会受到损伤。
首先，把X机架手动移动到设备的中间部分。
请点击<歪斜修正>按钮。那么自动对Z轴执行初始化，Y1轴电动机旋转，到感知
Y Home传感器为止移动 X 机架， Home 传感器感知后，反方向移动相当于Y轴
移动距离后，再感知Y轴Home传感器为止反方向移动。
然后如下图显示 Skew 信息，问是否适用该值。
点击<是(Y)>按钮，则按照适用的 Skew信息设备重新执行初始化。
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Machine Calibration
14.3.3. 基准照相机测量
基准相机未进行校正时，剩下的按钮不会被激活。
<1. Fid. Scale Mark Position> 按钮
设置处于ANC顶面的Fiducial Mark的位置。下面是用基准相机 Teaching 示教
ANC顶面的校正Too1的Reference Fiducial Mark过程。
1. 1.Mark设置是：选择Gantry后，点击<1. Fid. Scale Mark Position>按钮出现如
下的画面时，请点击<4.示教>领域的 <Move>按钮。这时，基准相机会移动
到相应的位置。Gantry 1时Mark ID用 “7”号、Gantry 2时 Mark ID用 “8”号固
定。
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2. 如果无法正确识别Fiducial Mark时请正确示教ANC的Reference Fiducial
Mark的位置。
3. 如果正确示教Fiducial Mark的位置时，点击 <更新>按钮会适用变更值。
<2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮
为校正基准相机的Scale(um/pixel)和Rotation(deg)没有预先需要执行的校正。
下面是基准相机的校正步骤。
1. 请点击<标准菜单>领域的 <2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮 。
2. 点击<2. Ref. Fid. Camera Scale>按钮则在消息窗显示 “在ANC中设置调整工
具到特别工具位置. 点击 [下一步]移开。” 消息。为了把 基准相机移动到
ANC的 Fiducial Mark位置，请点击 <下个>按钮。
3. 显示”准备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息。此时，点击 <亮度> 后在 “
亮度控制”对话框中使’SMVision’窗口显示的Fiducial Mark明显调整照明的