SM482(L)_PLUS_Admin(Chi_Ver2.4).pdf - 第411页
14-65 Machine Cal ibration 14.3.7.8. Fly Camera Offset Calibration 校正飞行相机和 Head Spindle 中心间的差距。 为了执行 ‘Fly-Camera Of fset Calibration’ 先要进行 ‘Fly-Camera Scale Cali bration’ 和 ‘Head Z-Of fset Calibration’, 要 使用 CNT20 吸嘴。 下面…
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Multi-Functional Placer SM482(L) PLUS Administrator’s Guide
备 注 飞行相机的校正基准值为如下
FOV 16 (MEGA)
ScaleX: 15.15~16.59 (μm/pixel)
ScaleY: 15.15~16.59 (μm/pixel)
FOV 25 (MEGA)
ScaleX: 23.00~25.00 (μm/pixel)
ScaleY: 23.00~25.00 (μm/pixel)
FOV 16
ScaleX: 32.82~35.94 (μm/pixel)
ScaleY: 32.82~35.94 (μm/pixel)
FOV 25
ScaleX: 50.00~54.16 (μm/pixel)
ScaleY: 50.00~54.16 (μm/pixel)
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Machine Calibration
14.3.7.8. Fly Camera Offset Calibration
校正飞行相机和Head Spindle中心间的差距。为了执行‘Fly-Camera Offset
Calibration’先要进行‘Fly-Camera Scale Calibration’和 ‘Head Z-Offset Calibration’,要
使用CNT20吸嘴。
下面是 Fly-Camera Offset 的校正步骤。
1. 点击<准备吸嘴>按钮，在ANC1号孔中插入CNT20吸嘴。选择<自动下一步>
校验框后，
2. 点击<13. Fly Camera Offset> 按钮，则对选择的Gantry自动执行校正。选择<没
有实际运动（手动）>校验框后，执行校正会在各Head手动插入吸嘴，并点击<
下个>进入下一个阶段。不选<自动下一步> 或<没有实际运动（手动）>中的任
何校验框的状态下执行校正时，虽然对当前被选的Head自动更换吸嘴，但要点
击<下个>按钮才能执行下一个阶段。点击<13. Fly Camera Offset>按钮则显示”
首先，我们必须把所有吸嘴手动离开朝向。将Z轴调制低处，点击[下一步]”消
息。为了手动除去所有贴装在磁头的吸嘴，拉下磁头的Z轴请点击<下个>按
钮。
3. 那么, Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有Z轴。此时，请手动除
去已贴装的所有吸嘴。
4. 显示 “下一步，将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。” 消息。 在磁头1号的吸嘴槽上手动贴装CNT20吸嘴后点击<
下个> 按钮。
5. 显示 “排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]” 消息。 请点击<下个>按
钮。
6. 那么，磁头1上升到飞行相机的Align高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显示”准
备标准。对于标准，点击[下一步].” 消息。此时在 <目标摄像>组合框中选择”飞
行相机1”点击 <亮度>按钮，在” 亮度控制”对话框中’SMVision’
窗口 显示的
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CNT20 吸嘴上的 Fiducial Mark明显为止调整照明亮度后点击<下个>按钮。
7. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个>按
钮。
8. 显示“下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动完成,
用手取下工具。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CNT20 吸嘴。请点
击<下个>按钮。
9. 请按照对磁头1的校正方法，同样地从Head 2~6执行校正。
对所有磁头正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值请点
击<确定>按钮。