SM482(L)_PLUS_Admin(Chi_Ver2.4).pdf - 第409页
14-63 Machine Cal ibration 10. 显 示 “ 下一步 , 把校 校 正工具从 H1 取下 , 点击 [ 下一步 ] 头将向下移动 。 移动完成 , 用手取下工具。 ” 消息。 为了在磁头 1 号的吸嘴支架手动除去 CNT20 吸嘴请点击 < 下个 > 按钮。 11 . 请按照对飞行相机 2 的校正方法， 同 样地从飞行相机 2~6 执行校正 。 对所有飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。 要…
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Multi-Functional Placer SM482(L) PLUS Administrator’s Guide
SMVision窗显示的CNT20 吸嘴上的 Ficucial Mark明显为止调整照明亮度。
6. 示”排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]”消息。请点击 <下个>按
钮。
7. 那么，磁头1上升到飞行相机的Align高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显示”准
备标准。对于标准，点击[下一步].”
8. 那么，磁头1的Z轴上升到飞行相机的部件识别高度，关闭 Mirror。然后在消息
窗显示 “准备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息。此时在 <目标摄像>组合框
中选择“飞行相机1”点击<亮度>按钮，在” 亮度控制” 对话框中 SMVision显示
的 CNT20 吸嘴上的 Fiducial Mark明显为止调整照明亮度后点击<下个>按钮。
9. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击<下个>按
钮。
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Machine Calibration
10. 显示“下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动完成,
用手取下工具。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去CNT20 吸嘴请点击
<下个>按钮。
11. 请按照对飞行相机2的校正方法，同样地从飞行相机2~6执行校正。
对所有飞行相机正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值
请点击<确定>按钮。
12. 显示” 下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动后,
用手取下工具。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请
点击 <下个> 按钮。
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Multi-Functional Placer SM482(L) PLUS Administrator’s Guide
备 注 飞行相机的校正基准值为如下
FOV 16 (MEGA)
ScaleX: 15.15~16.59 (μm/pixel)
ScaleY: 15.15~16.59 (μm/pixel)
FOV 25 (MEGA)
ScaleX: 23.00~25.00 (μm/pixel)
ScaleY: 23.00~25.00 (μm/pixel)
FOV 16
ScaleX: 32.82~35.94 (μm/pixel)
ScaleY: 32.82~35.94 (μm/pixel)
FOV 25
ScaleX: 50.00~54.16 (μm/pixel)
ScaleY: 50.00~54.16 (μm/pixel)