SM482(L)_PLUS_Admin(Chi_Ver2.4).pdf - 第392页
14-46 Multi-Functional Placer SM482(L) PLUS Administrator’s Guide 14.3.7.2. Fix Cam. Thermal Origin Calibration 为了校正 Fix1 Camera 的 Thermal Origin 执行的校正 。 为了示教 ANC 上的一点补偿 Fiducial Camera 位置 而执行。 <7. Fix Cam. Thermal Or…
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Machine Calibration
备 注 固定相机1的校正基准值为如下。
Mega FOV 35
ScaleX:33.1~36.1 (μm/pixel)
ScaleY: 33.1~36.1 (μm/pixel)
R:-1~1(deg)
Mega FOV 45
ScaleX:42.7~45.7 (μm/pixel)
ScaleY: 42.7~45.7 (μm/pixel)
R:-1~1(deg)
FOV 35
ScaleX:70.9~74.9 (μm/pixel)
ScaleY: 70.9~74.9 (μm/pixel)
R:-1~1(deg)
FOV 45
ScaleX:91.8~95.8 (μm/pixel)
ScaleY: 91.8~95.8 (μm/pixel)
R:-1~1(deg)
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Multi-Functional Placer SM482(L) PLUS Administrator’s Guide
14.3.7.2. Fix Cam. Thermal Origin Calibration
为了校正Fix1 Camera的Thermal Origin执行的校正。为了示教ANC上的一点补偿
Fiducial Camera位置而执行。
<7. Fix Cam. Thermal Origin> 按钮
1. 1.点击<7. Fix Cam. Thermal Origin> 按钮，则显示如下画面。
2. 点击<Move>按钮把Head Assembly移动到ANC上的Fiducial位置后利用Fiducial
Camera准确地示教相应的Fiducial，使用<Get>按钮保存坐标。
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Machine Calibration
3. 点击 <Start>按钮，设备自动执行校正。
4. 自动执行校正后, 完成校正则显示"Gantry Thermal mapping calilbration finished
successfully"信息，如下图显示结果值。
5. 要适用新的校正值请点击<Update>按钮。