SM482(L)_PLUS_Admin(Chi_Ver2.4).pdf - 第374页
14-28 Multi-Functional Placer SM482(L) PLUS Administrator’s Guide 2. 如果无法正确识别 Fiducial Mark 时请正确示教 ANC 的 Refer ence Fiducial Mark 的位置。 3. 如果正确示教 Fiducial Mark 的位置时， 点击 < 更新 > 按钮会适用变更值。 <2. Ref. Fi d. Camera Sc…
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Machine Calibration
14.3.3. 基准照相机测量
基准相机未进行校正时，剩下的按钮不会被激活。
<1. Fid. Scale Mark Position> 按钮
设置处于ANC顶面的Fiducial Mark的位置。下面是用基准相机 Teaching 示教
ANC顶面的校正Too1的Reference Fiducial Mark过程。
1. 1.Mark设置是：选择Gantry后，点击<1. Fid. Scale Mark Position>按钮出现如
下的画面时，请点击<4.示教>领域的 <Move>按钮。这时，基准相机会移动
到相应的位置。Gantry 1时Mark ID用 “7”号、Gantry 2时 Mark ID用 “8”号固
定。
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Multi-Functional Placer SM482(L) PLUS Administrator’s Guide
2. 如果无法正确识别Fiducial Mark时请正确示教ANC的Reference Fiducial
Mark的位置。
3. 如果正确示教Fiducial Mark的位置时，点击 <更新>按钮会适用变更值。
<2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮
为校正基准相机的Scale(um/pixel)和Rotation(deg)没有预先需要执行的校正。
下面是基准相机的校正步骤。
1. 请点击<标准菜单>领域的 <2. Ref. Fid. Camera Scale> 按钮 。
2. 点击<2. Ref. Fid. Camera Scale>按钮则在消息窗显示 “在ANC中设置调整工
具到特别工具位置. 点击 [下一步]移开。” 消息。为了把 基准相机移动到
ANC的 Fiducial Mark位置，请点击 <下个>按钮。
3. 显示”准备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息。此时，点击 <亮度> 后在 “
亮度控制”对话框中使’SMVision’窗口显示的Fiducial Mark明显调整照明的
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Machine Calibration
亮度后请点击<下个> 按钮。
4. 自动执行 Calibration后，结束校正则如下图显示结果值。要适用新的校正值
请点击<更新>按钮。
备 注 基准相机的校正基准值如下
Fiducial Camera (FOV 12)
ScaleX: 23.0~27.0 (μm/pixel)
ScaleY: 23.0~27.0 (μm/pixel)
ScaleR: -0.5~0.5 (deg)