SM482(L)_PLUS_Admin(Chi_Ver2.4).pdf - 第391页
14-45 Machine Cal ibration 备 注 固定相机 1 的校正基准值为如下。 Mega FOV 35 ScaleX:33.1~36.1 ( μm/pixel) ScaleY : 33.1~36.1 (μm/pixel) R:-1~1(deg) Mega FOV 45 ScaleX:42.7~45.7 ( μm/pixel) ScaleY : 42.7~45.7 (μm/pixel) R:-1~1(deg) …
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6. 自动执行 Calibration后，结束校正则如下图显示结果值。要试用新的校正值，请
点击<更新>按钮。
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Machine Calibration
备 注 固定相机1的校正基准值为如下。
Mega FOV 35
ScaleX:33.1~36.1 (μm/pixel)
ScaleY: 33.1~36.1 (μm/pixel)
R:-1~1(deg)
Mega FOV 45
ScaleX:42.7~45.7 (μm/pixel)
ScaleY: 42.7~45.7 (μm/pixel)
R:-1~1(deg)
FOV 35
ScaleX:70.9~74.9 (μm/pixel)
ScaleY: 70.9~74.9 (μm/pixel)
R:-1~1(deg)
FOV 45
ScaleX:91.8~95.8 (μm/pixel)
ScaleY: 91.8~95.8 (μm/pixel)
R:-1~1(deg)
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Multi-Functional Placer SM482(L) PLUS Administrator’s Guide
14.3.7.2. Fix Cam. Thermal Origin Calibration
为了校正Fix1 Camera的Thermal Origin执行的校正。为了示教ANC上的一点补偿
Fiducial Camera位置而执行。
<7. Fix Cam. Thermal Origin> 按钮
1. 1.点击<7. Fix Cam. Thermal Origin> 按钮，则显示如下画面。
2. 点击<Move>按钮把Head Assembly移动到ANC上的Fiducial位置后利用Fiducial
Camera准确地示教相应的Fiducial，使用<Get>按钮保存坐标。