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SPF
服务手册
7.1 实际事例
P54SCC-90-080-A0 7.1-2
步进电机动作异常 (以 SPPG3 为例)
目前情况 电机动作后,再次励磁,用手旋转。
原因
可以考虑到的
要因
驱动器不良 (大电社制造)
估计是电子元件的脱落
处理修理方法
处理方法确认
方法
更换驱动器
发生 AC 伺服过电流检测错误 (以 SPPG3 为例)
目前情况 AC 伺服驱动器发生‘14’(过电流检测) 。
原因
可以考虑到的
要因
驱动器故障(电机社)
根据厂家分析结果,IGBT 的 Y 相短路损坏,元件突然出现故障,或异常电流都是导
致以上结果的原因。
处理修理方法
处理方法确认
方法
更换驱动器
排序失败 (以 SPPG3 为例)
目前情况 即使在 XY 工作台上生产基板,从上载导轨移入下一个基板。
原因
可以考虑到的
要因
因为生产基板接近于暗黑色,所以检测不稳定。
处理修理方法
处理方法确认
方法
更改 SC 程序,使在基板校正动作中无法检测出基板。


D00ACC-0A-300-A0
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敬请谅解。