SPF.pdf - 第51页
SPF 服务手册 4.1 调整确认项目一 览 D54SC C-83-010-A0 4.1-6 No. 检查项目 检查项目 检查项目 检查项目 确认 确认 确认 确认 参照项目 参照项目 参照项目 参照项目 真空蒸汽 (选 购件) 0~+ 0.1mm 6 清洁器 头高度 真空 0.3±0.1mm 张力 96.0±9.8N(9. 8±1.0k gf) 7 同步皮带 ST 轴 皮带的磨损、清扫 8 照相机 照相机 摄像 相机图像内无异物 MA…

SPF
服务手册
4.1 调整确认项目一览
4.1-5 D54SCC-83-010-A0
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认 参照项目
参照项目参照项目
参照项目
搬送皮带的张力
搬送皮带的磨损、清扫
上载导轨和工作台
导轨的间隙
5.0~6.0mm
上载导轨和工作台
导轨的平行度
0.2mm以内
上载导轨
上载导轨和工作台
导轨的级差
0.2mm以内
搬送皮带的张力
搬送皮带的磨损、清扫
下载导轨和工作台
导轨的间隙
5.0~6.0mm
下载导轨和工作台
导轨的平行度
0.2mm以内
5
基板搬送
下载导轨
下载导轨和工作台
导轨的级差
-0.2mm

SPF
服务手册
4.1 调整确认项目一览
D54SCC-83-010-A0 4.1-6
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认 参照项目
参照项目参照项目
参照项目
真空蒸汽(选
购件)
0~+0.1mm
6
清洁器 头高度
真空
0.3±0.1mm
张力
96.0±9.8N(9.
8±1.0kgf)
7
同步皮带 ST轴
皮带的磨损、清扫
8
照相机 照相机摄像 相机图像内无异物
MANUAL 状
态
按副操作盘上的键开关,确认
所有的手动操作
SEMIAUTO
状态
确认XY的定位动作
确认印刷基板搬送动作
9
动作检查
AUTO状态
确认恢复动作
NC数据输入/输出状态
10
有关NC数据的功能检查
手动数据输入状态
主操作盘光
回路(MMI)
主操作盘
2~12µW
5,6
浮动磁头光
回路(MMC)
7,8
2~12µW
0,1
2,3
4
8,9
E,F
A,B
6
5
11
光回路光量
SC基板光
回路
C,D
2~12µW

SPF
服务手册
4.1 调整确认项目一览
4.1-7 D54SCC-83-010-A0
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认 参照项目
参照项目参照项目
参照项目
SST
CY
CX
NC 基板光回
路1
ST
10~39µW
SQ
SY
SCX
11
光回路光量
NC 基板光回
路2
SCR
10~39µW