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SPF 服务手册 4.1 调整确认项目一 览 D54SC C-83-010-A0 4.1-4 No. 检查项目 检查项目 检查项目 检查项目 确认 确认 确认 确认 参照项目 参照项目 参照项目 参照项目 有无上下动作燥音、喀 嗒声和松动 平面度 (0° ) 在 0.1mm 以内 基板支架 到工作台导轨 上面的高度 55.9 ± 0.05m m 矫正部自动宽度调 整 和基板之间的 间隙 0.6 ~ 1.0mm 和工作台导轨 之间的级…
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4.1 调整确认项目一览
4.1-3 D54SCC-83-010-A0
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认 参照项目
参照项目参照项目
参照项目
从+ 方向返回
从- 方向返回
矫正部自动宽
度调整轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
工作台自动宽
度调整轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
L 轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
UL 轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
CX 轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
CY 轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
3
轴 返回原点动作
SCX 轴
返回原点位置
SPF
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4.1 调整确认项目一览
D54SCC-83-010-A0 4.1-4
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认 参照项目
参照项目参照项目
参照项目
有无上下动作燥音、喀嗒声和松动
平面度 (0°) 在0.1mm以内
基板支架
到工作台导轨
上面的高度
55.9±0.05mm
矫正部自动宽度调
整
和基板之间的
间隙
0.6 ~ 1.0mm
和工作台导轨
之间的级差
0 ~ -0.1mm
网板支架
平面度 在0.03mm以内
搬送皮带的张力
搬送皮带的磨损、清扫
平面度 (0°) 在0.1mm以内
4
工作台
导轨
平行度
(固定导轨)
在0.2mm以内
SPF
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4.1 调整确认项目一览
4.1-5 D54SCC-83-010-A0
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认 参照项目
参照项目参照项目
参照项目
搬送皮带的张力
搬送皮带的磨损、清扫
上载导轨和工作台
导轨的间隙
5.0~6.0mm
上载导轨和工作台
导轨的平行度
0.2mm以内
上载导轨
上载导轨和工作台
导轨的级差
0.2mm以内
搬送皮带的张力
搬送皮带的磨损、清扫
下载导轨和工作台
导轨的间隙
5.0~6.0mm
下载导轨和工作台
导轨的平行度
0.2mm以内
5
基板搬送
下载导轨
下载导轨和工作台
导轨的级差
－0.2mm