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SPF 服务手册 4.1 调整确认项目一 览 4.1-3 D54S CC-83-010- A0 No. 检查项目 检查项目 检查项目 检查项目 确认 确认 确认 确认 参照项目 参照项目 参照项目 参照项目 从 + 方向返回 从 - 方向返回 矫正部自动宽 度调整轴 返回原点位置 从 + 方向返回 从 - 方向返回 工作台自动宽 度调整轴 返回原点位置 从 + 方向返回 从 - 方向返回 L 轴 返回原点位置 从 + 方向返回 从 - …
SPF
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4.1 调整确认项目一览
D54SCC-83-010-A0 4.1-2
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认 参照项目
参照项目参照项目
参照项目
从+ 方向返回
从- 方向返回
SY 轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
SCR 轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
ST 轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
SQ 轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
3
轴 返回原点动作
SST 轴
返回原点位置
SPF
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4.1 调整确认项目一览
4.1-3 D54SCC-83-010-A0
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认 参照项目
参照项目参照项目
参照项目
从+ 方向返回
从- 方向返回
矫正部自动宽
度调整轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
工作台自动宽
度调整轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
L 轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
UL 轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
CX 轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
CY 轴
返回原点位置
从+ 方向返回
从- 方向返回
3
轴 返回原点动作
SCX 轴
返回原点位置
SPF
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4.1 调整确认项目一览
D54SCC-83-010-A0 4.1-4
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认 参照项目
参照项目参照项目
参照项目
有无上下动作燥音、喀嗒声和松动
平面度 (0°) 在0.1mm以内
基板支架
到工作台导轨
上面的高度
55.9±0.05mm
矫正部自动宽度调
整
和基板之间的
间隙
0.6 ~ 1.0mm
和工作台导轨
之间的级差
0 ~ -0.1mm
网板支架
平面度 在0.03mm以内
搬送皮带的张力
搬送皮带的磨损、清扫
平面度 (0°) 在0.1mm以内
4
工作台
导轨
平行度
(固定导轨)
在0.2mm以内