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SPF 服务手册 4.2 下部组件：其它 4.2-11 D54SCC-W 4-600-A0 4.2.7 调整支撑台平面度 调整支撑台平面度 调整支撑台平面度 调整支撑台平面度 Unit No. 1080804300 调 整支 撑 台平面度 维 修手册 / 维 修指南 / 调 整 固定、可 动导轨 平面度 = 准备 准备 准备 准备 = 1. 最大基板 2. （ - ）螺丝刀 3. 百分表 4. 磁性表架 5. 支架高度调整治具 ► 调整…
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4.2 下部组件：其它
D54SCC-W4-600-A0 4.2-10
15. 旋转滚珠丝杠进行调整。
=提示
提示提示
提示=
在拧松联轴节螺栓之前，使百分表与支架高度调整治具相接触，调整级差。
16. 拧紧电机一侧的联轴节螺栓。
17. 再次确认间隙。
18. 安装后部机盖。
19. 确认（±）极限传感器。
=规格值
规格值规格值
规格值=
（+）极限：25.5±0.5mm
（-）极限：-29±0.5mm
机器止
动
器
(+)
极限
机器止
动
器
(-)
极限
原点（基板下
5mm
）
27.5
25.5
0
-29
-31
冲程
图
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4.2 下部组件：其它
4.2-11 D54SCC-W4-600-A0
4.2.7 调整支撑台平面度
调整支撑台平面度调整支撑台平面度
调整支撑台平面度
Unit No. 1080804300
调整支撑台平面度
维修手册
/
维修指南
/
调整
固定、可动导轨平面度
=准备
准备准备
准备=
1. 最大基板
2. （-）螺丝刀
3. 百分表
4. 磁性表架
5. 支架高度调整治具
►调整支撑台平面度
调整支撑台平面度调整支撑台平面度
调整支撑台平面度
1. 打开电源，使其返回原点。
2. 移动可动导轨，使其宽度与最大基板宽度相当。
3. 移动 SY 轴（工作台 Y 轴），使其位于 150 mm
位置处。
4. 将支架高度调整治具安装到支撑台上面 A 位置处。
5. 将磁性表架安装到照相机轴上。
6. 使百分表的尖端与支架高度调整治具的上面相接触。
7. 将百分表设定为 0。
8. 移动支架高度调整治具，使其位于支撑台上面的 B
位置处。
9. 确认支架高度调整治具上面的平面度。
=确认
确认确认
确认=
按照同样的方法确认 C~I 的平面度。
=规格值
规格值规格值
规格值=
平面度：0.1mm 以内
10. 规格值以外时，卸下调整螺栓的螺母（J），
卸下支撑台。
11. 确认调整螺栓（4 个）的平面度。
=规格值
规格值规格值
规格值=
平面度：0.1mm 以内
12. 规格值以外时，拧松螺母（K），用（-）螺丝刀调整
平面度。
13. 拧紧螺母（K）。
G
C
F
I
B
E
H
A
D
基准
0
调
整螺栓
螺母（
J
）
机架
支
撑
台
支
撑
台
照相机
轴
机架
螺母（
K
）
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4.2 下部组件：其它
D54SCC-W4-600-A0 4.2-12
14. 再次确认调整螺栓（4 个）的平面度。
15. 安装支撑台。
16. 再次确认支撑台的平面度。
G
C
F
I
B
E
H
A
D
基准
0
调
整螺栓
螺母（
J
）
机架
支
撑
台
支
撑
台
照相机
轴
机架
螺母（
K
）