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SPF 服务手册 P 5 4 S C C - 8 7 - 0 0 0 - A 0 3 . 0 - 2 P54SCC-87-000-A0 Sentence No. 3. 准备器材 准备器材 准备器材 准备器材 在本章中对在检查及调整作业当中需要的器材进行了说明。

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SPF
服务手册
3.0-1
SPF
服务手册
P54SCC-87-000-A0 3.0-2
P54SCC-87-000-A0Sentence No.
3.准备器材
准备器材准备器材
准备器材
在本章中对在检查及调整作业当中需要的器材进行了说明。
SPF
参考手册
3.1 专用治具工具一览(服务工程师用)
3.1-1 D54SCC-87-030-A0
3.1 专用治具工具一览
专用治具工具一览专用治具工具一览
专用治具工具一览(服务工程师用
服务工程师用服务工程师用
服务工程师用)
Sentence No. D54SCC-87-030-A0
=确认
确认确认
确认=
不包括附属于机器主体的治具、工具。
最大基板(M 尺寸)
最大基板(XL 尺寸)
X-θ板定位销:1080884002
橡皮滚角度调整治具:N903YYYY-080
最小基板
防止副工作台脱落治具:1048390190
支撑高度调整治具:108088401101
防止工作台脱落治具:1080884503