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SPF 服务手册 4.1 调整确认项目一 览 D54SC C-83-010-A0 4.1-8 = 备忘录 =
SPF
服务手册
4.1 调整确认项目一览
4.1-7 D54SCC-83-010-A0
No.
检查项目
检查项目检查项目
检查项目 确认
确认确认
确认 参照项目
参照项目参照项目
参照项目
SST
CY
CX
NC 基板光回
路1
ST
10~39µW
SQ
SY
SCX
11
光回路光量
NC 基板光回
路2
SCR
10~39µW
SPF
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4.1 调整确认项目一览
D54SCC-83-010-A0 4.1-8
= 备忘录 =
SPF
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4.2 下部组件：其它
4.2-1 D54SCC-W4-600-A0
4.2 下部组件：其它
下部组件：其它下部组件：其它
下部组件：其它
4.2.1 更换
更换更换
更换 SY 轴（工作台
轴（工作台轴（工作台
轴（工作台 Y 轴）电机
轴）电机轴）电机
轴）电机
Unit No.
1080804200
4.2.4SY
轴（工作台
Y
轴
原点调整
更换
SY
轴（工作台
Y
轴
）
电机
►更换
更换更换
更换 SY 轴电机
轴电机轴电机
轴电机
1． 打开电源，使其返回原点。
2． 关闭电源。
3． 拆卸电机的连接器。
4． 拧松电机一侧的联轴节螺栓。
5． 卸下电机螺栓（3 个），从电机托架上
卸下电机。
6． 更换电机。
7． 拧紧电机螺栓和联轴节螺栓。
8． 连接电机连接器。
Sentence No. D54SCC-W4-600-A0
工作台
Y
轴电机
联轴节
电机螺栓
工作台
Y
轴电机