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SPF 服务手册 4.2 下部组件：其它 D54SCC-W 4-600-A0 4.2-12 14. 再次确认调整螺栓（ 4 个）的平面度。 15. 安装支撑台。 16. 再次确认支撑台的平面度。 G C F I B E H A D 基准 0 调 整螺栓 螺母（ J ） 机架 支 撑 台 支 撑 台 照相机 轴 机架 螺母（ K ）
SPF
服务手册
4.2 下部组件：其它
4.2-11 D54SCC-W4-600-A0
4.2.7 调整支撑台平面度
调整支撑台平面度调整支撑台平面度
调整支撑台平面度
Unit No. 1080804300
调整支撑台平面度
维修手册
/
维修指南
/
调整
固定、可动导轨平面度
=准备
准备准备
准备=
1. 最大基板
2. （-）螺丝刀
3. 百分表
4. 磁性表架
5. 支架高度调整治具
►调整支撑台平面度
调整支撑台平面度调整支撑台平面度
调整支撑台平面度
1. 打开电源，使其返回原点。
2. 移动可动导轨，使其宽度与最大基板宽度相当。
3. 移动 SY 轴（工作台 Y 轴），使其位于 150 mm
位置处。
4. 将支架高度调整治具安装到支撑台上面 A 位置处。
5. 将磁性表架安装到照相机轴上。
6. 使百分表的尖端与支架高度调整治具的上面相接触。
7. 将百分表设定为 0。
8. 移动支架高度调整治具，使其位于支撑台上面的 B
位置处。
9. 确认支架高度调整治具上面的平面度。
=确认
确认确认
确认=
按照同样的方法确认 C~I 的平面度。
=规格值
规格值规格值
规格值=
平面度：0.1mm 以内
10. 规格值以外时，卸下调整螺栓的螺母（J），
卸下支撑台。
11. 确认调整螺栓（4 个）的平面度。
=规格值
规格值规格值
规格值=
平面度：0.1mm 以内
12. 规格值以外时，拧松螺母（K），用（-）螺丝刀调整
平面度。
13. 拧紧螺母（K）。
G
C
F
I
B
E
H
A
D
基准
0
调
整螺栓
螺母（
J
）
机架
支
撑
台
支
撑
台
照相机
轴
机架
螺母（
K
）
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4.2 下部组件：其它
D54SCC-W4-600-A0 4.2-12
14. 再次确认调整螺栓（4 个）的平面度。
15. 安装支撑台。
16. 再次确认支撑台的平面度。
G
C
F
I
B
E
H
A
D
基准
0
调
整螺栓
螺母（
J
）
机架
支
撑
台
支
撑
台
照相机
轴
机架
螺母（
K
）
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4.3 上部定位
4.3-1 D54SCC-W1-000-A0
4.3 上部定位
上部定位上部定位
上部定位
4.3.1 调整
调整调整
调整 SCX 轴（网板矫正轴）原点
轴（网板矫正轴）原点轴（网板矫正轴）原点
轴（网板矫正轴）原点
Unit No.
4.3.4
更换
SCX
轴
（网板
矫正轴）电机
调整
SCX
轴（网板矫正
轴）原点
=准备
准备准备
准备=
1. 标记板治具
►调整
调整调整
调整 SCX 轴原点
轴原点轴原点
轴原点
1. 打开电源，使其返回原点。
2. 用螺栓（4 个）将标记板治具固定到网板位置矫正工作台上。
3. 移动 CY 轴（照相机 Y 轴），使其位于 490mm 位置处。
4. M 尺寸时，将 CX 轴（照相机 X 轴）移动
到 165mm 位置处，XL 尺寸时将其移动到 255mm 位置处。
5. 将副操作盘上的“RECOG LIGHT RING”（ 识别照明环）
置于 ON。
6. 确认照相机标记在监控器的十字线的中心。
7. 如照相机标记不在监控器的十字线的中心，拧松滚珠丝杠的
联轴节螺栓。
8. 边看监控器边旋转滚珠丝杠，调整相机标记位置，使其位于
监控器的十字线的中心。
9. 拧紧滚珠丝杠一侧的联轴节螺栓。
10. 确认传感器挡片和是否和原点传感器相对应。
11. 移动传感器挡片，确认各极限。
Sentence No. D54SCC-W1-000-A0
照相机标记
标记板治具
标记板治具
网板位置矫正工作台
照相机标记监控器
O
K
NG
照相机十字线
位置偏移
165
165
255
255
照相机十字线