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3. 传感器配置图 MEC-NXT3-002S0 86 NXT III 机械手册 3.12.4 抛料轨道 No. 地址 信号名 1 IN02 JOG 模式 2 IN04 不良元件排出许可确认 （Side） 3 IN03 不良元件排出许可确认 （中央） 4 IN05 不良元件 C/V 送料记数 1 2 3 4 T ray unit-L T 01MEC-0225
MEC-NXT3-002S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 85
3.12.3 往返搬运轨道
No. 地址 信号名
1 OUT20 往返搬运轨道开关夹紧
2 IN10 往返搬运轨道后退端
3 IN12 往返搬运轨道打开确认
4 IN11 往返搬运轨道夹紧确认
5 IN2E 元件废弃箱落座确认
6 IN13 往返搬运轨道料盘高度监视 （下）
7 IN14 往返搬运轨道料盘高度监视 （中）
8 IN15 往返搬运轨道料盘高度监视 （上）
01MEC-0224b
1
2
6
7
8
3
4
5
3. 传感器配置图 MEC-NXT3-002S0
86 NXT III 机械手册
3.12.4 抛料轨道
No. 地址 信号名
1 IN02 JOG 模式
2 IN04 不良元件排出许可确认 （Side）
3 IN03 不良元件排出许可确认 （中央）
4 IN05 不良元件 C/V 送料记数
1
2
3
4
Tray unit-LT
01MEC-0225
MEC-NXT3-002S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 87
3.13 料盘单元 -LTC 传感器
3.13.1 安全门
No. 地址 信号名
1 IN00 紧急停止 SW
2 IN06 上部料盘箱安全门关闭确认
3 IN07 下部料盘箱安全门关闭确认
No. 主机侧地址 信号名
4 X206 上部料盘箱结束 PB 输入
5 X209 下部料盘箱结束 PB 输入
01MEC-0501a
2
1
3
4
5
Tray unit-LTC