NXT-III 机械手册.pdf - 第81页
2. 机器构成和功能说明 MEC-NXT3-002S0 58 NXT III 机械手册 MEMO:
MEC-NXT3-002S0 2. 机器构成和功能说明
NXT III 机械手册 57
4M-3 基座
NO. 名称 NO. 名称
1 控制箱 1 11 远程控制 I/O 电路板 2
2 电路板搬运接口 L 12 真空泵控制箱
3 电路板搬运接口 R 13 真空泵
4 干扰过滤器 14 风扇 1
5 电流断路器 15 远程控制 I/O 电路板 1
6 基座 CPU 箱 16 控制箱 2
7 压力计 17 XS 联锁电路板 2
8 主开关 18 XS 联锁电路板 1
9 电流断路器箱 1 19 风扇 2
10 电流断路器箱 2 20 集线器
01MEC-1341
1
2
5
11
8
9
7
12
13
14
3
4
15
6
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19
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16
2. 机器构成和功能说明 MEC-NXT3-002S0
58 NXT III 机械手册
MEMO:
MEC-NXT3-002S0 3. 传感器配置图
NXT III 机械手册 59
3. 传感器配置图
在此说明用于 NXT-3 上的各种传感器的配置和 I/O( 输入输出信号 ) 显示的看法。
注意 )根据机器的状态，在进行 I/O 的输出操作时机器有破损的危险。输出操作请在本公司
以及代理店的售后服务人员的指示下进行。
3.1 I/O 的确认方法
要确认传感器的 I/O( 输入输出信号 ) 时 , 需要软件工具 「Equipment Check」 。启动
「Equipment Check」后显示出以下画面 , 请选择单元 , 进行 I/O 的确认。
备注 )有关 「Equipment Check」的详细说明，请参考 「NXT III 系统手册」的 「软件工具
的使用方法」的 「Equipment Check」。
在以下的图和表中，显示出传感器 （图中编号）和地址的关系。
01SYS-0346E